[發(fā)明專利]一種制備柔性熱敏薄膜材料的方法有效

申請(qǐng)?zhí)枺?/td>	201610405808.7	申請(qǐng)日：	2016-06-12
公開（公告）號(hào)：	CN106048527B	公開（公告）日：	2018-06-29
發(fā)明（設(shè)計(jì)）人：	吳敬;黃志明;周煒;江林;歐陽程;高艷卿;張飛;褚君浩	申請(qǐng)（專利權(quán)）人：	中國科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所
主分類號(hào)：	C23C14/08	分類號(hào)：	C23C14/08;C23C14/28;H01C7/04
代理公司：	上海新天專利代理有限公司 31213	代理人：	郭英
地址：	200083 ***	國省代碼：	上海;31
權(quán)利要求書：	查看更多	說明書：	查看更多
摘要：
搜索關(guān)鍵詞：	制備濺射沉積熱敏薄膜聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯非制冷紅外焦平面讀出電路芯片聚酰亞胺薄片射頻磁控濺射溫度電阻系數(shù) 有機(jī)柔性襯底半導(dǎo)體工藝薄膜電阻率高溫?zé)崽幚?/a> 降低器件節(jié)能環(huán)保聚酰亞胺熱敏元件陶瓷靶材預(yù)壓成型直接制備燒結(jié) 研磨常溫下襯底片熱敏型響應(yīng)率富氧過篩耗能細(xì)磨沉積薄膜噪聲兼容合成制作
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專利分類

C 化學(xué)；冶金

C23 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制
C23C 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面擴(kuò)散法，化學(xué)轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆
C23C14-00 通過覆層形成材料的真空蒸發(fā)、濺射或離子注入進(jìn)行鍍覆
C23C14-02 .待鍍材料的預(yù)處理
C23C14-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物
C23C14-06 .以鍍層材料為特征的
C23C14-22 .以鍍覆工藝為特征的
C23C14-58 .后處理

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1、專利原文基于中國國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局專利說明書；

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