[發明專利]一種基于互相關計算的白光干涉顯微輪廓復原方法有效
| 申請號： | 201610403134.7 | 申請日： | 2016-06-08 |
| 公開（公告）號： | CN105865371B | 公開（公告）日： | 2018-06-12 |
| 發明（設計）人： | 馬駿;高志山;朱日宏;李曉強;王帥;王若言;魏聰 | 申請（專利權）人： | 南京理工大學 |
| 主分類號： | G01B11/24 | 分類號： | G01B11/24;G01B9/02 |
| 代理公司： | 南京理工大學專利中心 32203 | 代理人： | 薛云燕 |
| 地址： | 210094 *** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 白光干涉 待測信號 系統參數 像素點 復原 互相關計算 待測樣品 掃描步長 相關函數 延遲量 顯微 讀取 相乘 灰度值變化 抗噪聲能力 峰值檢測 條紋圖像 微觀輪廓 中心波長 光譜 圖像 檢測 | ||
【權利要求書】：
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于南京理工大學，未經南京理工大學許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201610403134.7/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：一種平面度檢測方法
- 下一篇：一種白光掃描干涉測量方法與系統
