[發明專利]金屬氧化物薄膜晶體管及其制備方法在審
| 申請號： | 201610402878.7 | 申請日： | 2016-06-07 |
| 公開（公告）號： | CN105932066A | 公開（公告）日： | 2016-09-07 |
| 發明（設計）人： | 劉洋 | 申請（專利權）人： | 深圳市華星光電技術有限公司 |
| 主分類號： | H01L29/786 | 分類號： | H01L29/786;H01L29/417;H01L29/10;H01L21/34 |
| 代理公司： | 深圳市銘粵知識產權代理有限公司 44304 | 代理人： | 孫偉峰;侯藝 |
| 地址： | 518132 廣東*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 金屬 氧化物 薄膜晶體管 及其 制備 方法 | ||
【權利要求書】：
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