[發明專利]在帶電粒子顯微鏡中分析樣品表面改性的方法有效
| 申請號： | 201610400193.9 | 申請日： | 2016-06-08 |
| 公開（公告）號： | CN106252187B | 公開（公告）日： | 2020-12-01 |
| 發明（設計）人： | P.波托塞克;F.鮑霍貝;M.P.W.范登博加爾德;E.科克馬茲 | 申請（專利權）人： | FEI公司 |
| 主分類號： | H01J37/26 | 分類號： | H01J37/26;H01J37/28 |
| 代理公司： | 中國專利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 周學斌;陳嵐 |
| 地址： | 美國俄*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 帶電 粒子 顯微鏡 分析 樣品 表面 改性 方法 | ||
【權利要求書】：
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