[發(fā)明專利]背板及其制造方法以及靶材組件的制造方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201610398193.X
• 申請(qǐng)日: 2016-06-06
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN107457495A
• 公開(kāi)（公告）日: 2017-12-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 姚力軍;潘杰;相原俊夫;大巖一彥;王學(xué)澤;張良進(jìn)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 寧波江豐電子材料股份有限公司
• 主分類號(hào): B23K31/02
• 分類號(hào): B23K31/02;B23K37/00;C23C14/34;B23K101/40
• 代理公司: 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司11227
• 代理人: 高靜,吳敏

1.一種背板，用于與靶坯焊接形成靶材組件，其特征在于，包括：

焊接面；

凸出于所述焊接面上的多個(gè)環(huán)形凸齒，所述多個(gè)環(huán)形凸齒呈相互間隔的同心排布；所述環(huán)形凸齒內(nèi)具有一個(gè)環(huán)形第一凹槽，且所述環(huán)形第一凹槽的側(cè)壁與所述環(huán)形凸齒的側(cè)壁構(gòu)成尖角結(jié)構(gòu)；或者，所述環(huán)形凸齒內(nèi)具有環(huán)形凹槽組，所述環(huán)形凹槽組至少包括兩個(gè)環(huán)形第一凹槽，且相鄰環(huán)形第一凹槽的側(cè)壁相連接構(gòu)成第一尖角結(jié)構(gòu)，所述環(huán)形第一凹槽的側(cè)壁與所述環(huán)形凸齒的側(cè)壁構(gòu)成第二尖角結(jié)構(gòu)；

相鄰環(huán)形凸齒的側(cè)壁與位于所述相鄰環(huán)形凸齒之間的焊接面圍成環(huán)形第二凹槽，所述環(huán)形第二凹槽的深度不小于所述環(huán)形第一凹槽的深度。

2.如權(quán)利要求1所述的背板，其特征在于，所述背板呈圓柱形，所述環(huán)形凸齒內(nèi)具有一個(gè)環(huán)形第一凹槽，所述環(huán)形凸齒的軸向橫截面為M形。

3.如權(quán)利要求1所述的背板，其特征在于，所述環(huán)形凸齒的側(cè)壁與所述焊接面相垂直。

4.如權(quán)利要求1所述的背板，其特征在于，所述背板呈圓柱形，所述環(huán)形第一凹槽的軸向橫截面為V形。

5.如權(quán)利要求1所述的背板，其特征在于，所述環(huán)形第一凹槽的兩個(gè)側(cè)壁的夾角為85度至95度。

6.如權(quán)利要求1所述的背板，其特征在于，所述環(huán)形第一凹槽的兩個(gè)側(cè)壁相互垂直。

7.如權(quán)利要求1所述的背板，其特征在于，所述背板還包括：環(huán)繞所述焊接面的底部凸臺(tái)，所述底部凸臺(tái)的頂部高于所述焊接面的表面；

環(huán)繞所述底部凸臺(tái)的頂部凸臺(tái)，所述頂部凸臺(tái)的頂部高于所述底部凸臺(tái)的頂部。

8.一種背板的制造方法，其特征在于，包括：

提供初始背板，所述初始背板包括第一區(qū)域以及環(huán)繞所述第一區(qū)域的第二區(qū)域；

對(duì)所述第一區(qū)域的初始背板表面進(jìn)行第一機(jī)械加工，形成多個(gè)呈同心排布的環(huán)形第一凹槽；所述環(huán)形第一凹槽之間相互間隔；

對(duì)所述環(huán)形第一凹槽之間的第一區(qū)域初始背板表面進(jìn)行第二機(jī)械加工，形成環(huán)形第二凹槽，所述環(huán)形第二凹槽的深度不小于所述環(huán)形第一凹槽的深度；所述環(huán)形第二凹槽的底部為焊接面，相鄰環(huán)形第二凹槽具有相背設(shè)置的側(cè)壁，所述相背設(shè)置的側(cè)壁與相鄰所述環(huán)形第一凹槽的側(cè)壁構(gòu)成尖角結(jié)構(gòu)，形成位于相鄰所述環(huán)形第二凹槽之間且凸出于所述焊接面的環(huán)形凸齒；

或者，

對(duì)所述第一區(qū)域的初始背板表面進(jìn)行第一機(jī)械加工，形成多個(gè)呈同心排布的環(huán)形凹槽組，所述環(huán)形凹槽組之間相互間隔，所述環(huán)形凹槽組至少包括兩個(gè)環(huán)形第一凹槽，且相鄰環(huán)形第一凹槽的側(cè)壁相連接構(gòu)成第一尖角結(jié)構(gòu)；

對(duì)所述環(huán)形凹槽組之間的第一區(qū)域初始背板表面進(jìn)行第二機(jī)械加工，形成環(huán)形第二凹槽，所述環(huán)形第二凹槽的深度不小于所述環(huán)形第一凹槽的深度；所述環(huán)形第二凹槽的底部為焊接面，相鄰環(huán)形第二凹槽具有相背設(shè)置的側(cè)壁，所述相背設(shè)置的側(cè)壁與相鄰所述環(huán)形第一凹槽的側(cè)壁構(gòu)成第二尖角結(jié)構(gòu)，形成位于相鄰所述環(huán)形第二凹槽之間且凸出于所述焊接面的環(huán)形凸齒。

9.如權(quán)利要求8所述的背板的制造方法，其特征在于，所述背板呈圓柱形，所述環(huán)形凸齒內(nèi)具有一個(gè)環(huán)形第一凹槽，所述環(huán)形凸齒的軸向橫截面為M形。

10.如權(quán)利要求8所述的背板的制造方法，其特征在于，所述環(huán)形凸齒的側(cè)壁與所述焊接面相垂直。

11.如權(quán)利要求8所述的背板的制造方法，其特征在于，所述背板呈圓柱形，所述環(huán)形第一凹槽的軸向橫截面為V形。

12.如權(quán)利要求8所述的背板的制造方法，其特征在于，所述環(huán)形第一凹槽的兩個(gè)側(cè)壁的夾角為85度至95度。

13.如權(quán)利要求8所述的背板的制造方法，其特征在于，所述環(huán)形第一凹槽的兩個(gè)側(cè)壁相互垂直。

14.如權(quán)利要求8所述的背板的制造方法，其特征在于，所述第一機(jī)械加工為精加工，對(duì)所述第一區(qū)域的初始背板表面進(jìn)行第一機(jī)械加工的步驟包括：采用90度成形刀進(jìn)行加工，吃刀量為0.28毫米至0.32毫米，機(jī)床轉(zhuǎn)速為25轉(zhuǎn)/分鐘至35轉(zhuǎn)/分鐘，進(jìn)給量為0.02毫米/轉(zhuǎn)至0.04毫米/轉(zhuǎn)。