[發(fā)明專利]一種光纖法珀聲壓加速度復(fù)合傳感器及加工方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201610392851.4 | 申請日： | 2016-05-25 |
| 公開（公告）號： | CN106645796A | 公開（公告）日： | 2017-05-10 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 金鵬;劉彬;撖琳;林杰;王興 | 申請（專利權(quán)）人： | 哈爾濱工業(yè)大學(xué) |
| 主分類號： | G01P15/03 | 分類號： | G01P15/03 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 150001 黑龍*** | 國省代碼： | 黑龍江;23 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 光纖 聲壓 加速度 復(fù)合 傳感器 加工 方法 | ||
1.一種光纖法珀聲壓加速度復(fù)合傳感器，其特征在于，包括一個聲壓薄膜支撐結(jié)構(gòu)(1)，設(shè)置在聲壓薄膜支撐結(jié)構(gòu)(1)頂部的聲壓薄膜(2)，一個質(zhì)量塊支撐結(jié)構(gòu)(3)，設(shè)置在質(zhì)量塊支撐結(jié)構(gòu)(3)頂部的質(zhì)量塊(4)，所述聲壓薄膜支撐結(jié)構(gòu)(1)和質(zhì)量塊(4)通過連接結(jié)構(gòu)(5)連接，在聲壓薄膜支撐結(jié)構(gòu)(1)側(cè)面對向插入第一光纖(6)和第二光纖(7)，所述第一光纖(6)和第二光纖(7)緊貼聲壓薄膜支撐結(jié)構(gòu)(1)底部；第一光纖(6)和第二光纖(7)相對的兩個端面中至少有一個研拋成45°，45°研拋端面上鍍有反射膜；第一光纖(6)中傳播的光束在45°研拋端面上反射，照射在聲壓薄膜(2)上，第一光纖(6)與聲壓薄膜(2)構(gòu)成光纖法珀聲壓傳感器；第二光纖(7)中傳播的光束在45°研拋端面上反射，經(jīng)聲壓薄膜支撐結(jié)構(gòu)(1)底部的通孔照射在質(zhì)量塊(4)上，第二光纖(7)與質(zhì)量塊(4)構(gòu)成光纖法珀加速度傳感器。
2.一種光纖法珀聲壓加速度復(fù)合傳感器的加工方法，其特征在于，包括以下步驟：
步驟a、加工有光纖插口和通孔的聲壓薄膜支撐結(jié)構(gòu)(1)；
步驟b、加工聲壓薄膜(2)；
所述的步驟a和步驟b同步進(jìn)行或按任意先后順序進(jìn)行；
步驟c、將聲壓薄膜支撐結(jié)構(gòu)(1)的頂端與聲壓薄膜(2)鍵合在一起；
步驟d、加工質(zhì)量塊支撐結(jié)構(gòu)(3)；
步驟e、加工從中間向四周由厚變薄結(jié)構(gòu)的上表面鍍有反射膜的質(zhì)量塊(4)；
所述的步驟d和步驟e同步進(jìn)行或按任意先后順序進(jìn)行；
步驟f、將質(zhì)量塊支撐結(jié)構(gòu)(3)的頂端與質(zhì)量塊(4)鍵合在一起；
步驟g、加工用于連接聲壓薄膜支撐結(jié)構(gòu)(1)與質(zhì)量塊(4)的連接結(jié)構(gòu)(5)；
步驟h、將聲壓薄膜支撐結(jié)構(gòu)(1)與質(zhì)量塊(4)用連接結(jié)構(gòu)(5)鍵合在一起；
步驟i、分別將第一光纖(6)和第二光纖(7)從兩個光纖插口插入，將45°研拋端面與聲壓薄膜支撐結(jié)構(gòu)(1)的底面調(diào)整為45°；
步驟j、將第二光纖(7)從另一側(cè)光纖插口插入；
步驟k、用膠(8)將聲壓薄膜支撐結(jié)構(gòu)(1)上的光纖插口與光纖的縫隙密封。
3.權(quán)利要求2所述的光纖法珀聲壓加速度復(fù)合傳感器的加工方法，其特征在于，所述步驟a包括以下步驟：
步驟a1、加工有光纖插口和通孔的聲壓薄膜支撐結(jié)構(gòu)底座(11)；
步驟a2、加工能夠與聲壓薄膜支撐結(jié)構(gòu)底座(11)配合的聲壓薄膜支撐結(jié)構(gòu)支座(12)；
所述的步驟a1和步驟a2同步進(jìn)行或按任意先后順序進(jìn)行；
步驟a3、按照聲壓薄膜支撐結(jié)構(gòu)支座(12)在上，聲壓薄膜支撐結(jié)構(gòu)底座(11)在下的順序?qū)⒙晧罕∧ぶ谓Y(jié)構(gòu)支座(12)與聲壓薄膜支撐結(jié)構(gòu)底座(11)鍵合，得到聲壓薄膜支撐結(jié)構(gòu)(1)。
4.權(quán)利要求2所述的光纖法珀聲壓加速度復(fù)合傳感器的加工方法，其特征在于，所述步驟d包括以下步驟：
步驟d1、加工質(zhì)量塊支撐結(jié)構(gòu)底座(31)；
步驟d2、加工能夠與質(zhì)量塊支撐結(jié)構(gòu)底座(31)配合的質(zhì)量塊支撐結(jié)構(gòu)支座(32)；
所述的步驟d1和步驟d2同步進(jìn)行或按任意先后順序進(jìn)行；
步驟d3、按照質(zhì)量塊支撐結(jié)構(gòu)支座(32)在上，質(zhì)量塊支撐結(jié)構(gòu)底座(31)在下的順序?qū)①|(zhì)量塊支撐結(jié)構(gòu)支座(32)與質(zhì)量塊支撐結(jié)構(gòu)底座(31)鍵合，得到質(zhì)量塊支撐結(jié)構(gòu)(3)。
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