[發明專利]一種等離子噴涂技術制備鈦酸銅鈣高介電涂層的方法

在審

• 申請號: 201610392017.5
• 申請日: 2016-06-06
• 公開（公告）號: CN107460428A
• 公開（公告）日: 2017-12-12
• 發明（設計）人: 宋仁國;項南;宋若希;劉萍;王超
• 申請（專利權）人: 寧波瑞隆表面技術有限公司
• 主分類號: C23C4/134
• 分類號: C23C4/134;C23C4/11
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種等離子噴涂技術制備鈦酸銅鈣高介電涂層的方法，其特征在于，包括如下步驟：

步驟（1）：選擇鈦酸銅鈣粉末；

步驟（2）：對待噴涂鋁箔基材進行表面預處理；

步驟（3）：將經過預處理的鋁箔基材固定在鋼板上，選擇氬氣和氫氣為離子氣體，氮氣為送粉載氣，通過真空等離子噴涂設備在所述鋁箔基材表面進行等離子噴涂，制備鈦酸銅鈣高介電涂層。

2.根據權利要求1所述的等離子噴涂技術制備鈦酸銅鈣高介電涂層的方法，其特征在于，所述步驟（1）中鈦酸銅鈣粉末的粒徑為80~120μm。

3.根據權利要求1所述的等離子噴涂技術制備鈦酸銅鈣高介電涂層的方法，其特征在于，所述步驟（2）中對待噴涂鋁箔基材進行表面預處理，具體包括如下步驟：用乙醇漂洗基體表面，然后用超聲波清洗30 min，吹干后進行噴砂處理，至表面均勻粗化。

4.根據權利要求1所述的等離子噴涂技術制備鈦酸銅鈣高介電涂層的方法，其特征在于，所述步驟（3）中氬氣的流量為50~60 L/min，氫氣的流量為3~5 L/min。

5.根據權利要求1所述的等離子噴涂技術制備鈦酸銅鈣高介電涂層的方法，其特征在于，所述步驟（3）中真空等離子噴涂設備的功率為80~90 KW，送粉速度為20~50 g/min，噴涂距離為80~140 mm，基體預熱溫度為100~150 ℃。