[發(fā)明專利]夾持設(shè)備及其工作方法、磁控濺射裝置有效

申請(qǐng)?zhí)枺?/td>	201610388880.3	申請(qǐng)日：	2016-06-02
公開（公告）號(hào)：	CN105887033B	公開（公告）日：	2018-10-23
發(fā)明（設(shè)計(jì)）人：	肖磊;陳一民;田忠朋	申請(qǐng)（專利權(quán)）人：	京東方科技集團(tuán)股份有限公司
主分類號(hào)：	C23C14/35	分類號(hào)：	C23C14/35
代理公司：	北京天昊聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11112	代理人：	汪源;陳源
地址：	100015 ***	國(guó)省代碼：	北京;11
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摘要：
搜索關(guān)鍵詞：	夾持設(shè)備及其工作方法磁控濺射裝置
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