[發明專利]夾持設備及其工作方法、磁控濺射裝置有效
| 申請號： | 201610388880.3 | 申請日： | 2016-06-02 |
| 公開（公告）號： | CN105887033B | 公開（公告）日： | 2018-10-23 |
| 發明（設計）人： | 肖磊;陳一民;田忠朋 | 申請（專利權）人： | 京東方科技集團股份有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/35 | 分類號： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112 | 代理人： | 汪源;陳源 |
| 地址： | 100015 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 夾持 設備 及其 工作 方法 磁控濺射 裝置 | ||
【權利要求書】：
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