[發(fā)明專利]一種硅片高效擴(kuò)散爐有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201610387442.5 | 申請(qǐng)日： | 2016-06-01 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN105908261B | 公開（公告）日： | 2018-05-18 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 周士杰;陳圣鐵 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 溫州隆潤(rùn)科技有限公司 |
| 主分類號(hào)： | C30B31/18 | 分類號(hào)： | C30B31/18 |
| 代理公司： | 上海翼勝專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 31218 | 代理人： | 翟羽 |
| 地址： | 325000 浙江省溫州市*** | 國(guó)省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 硅片 高效 擴(kuò)散 | ||
【權(quán)利要求書】：
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