[發明專利]一種基于太赫茲波的檢測系統

在審

• 申請號: 201610386012.1
• 申請日: 2016-06-03
• 公開（公告）號: CN107462545A
• 公開（公告）日: 2017-12-12
• 發明（設計）人: 柳鵬;陳丕瑾;李宗謙;雷有華;張春海;周段亮;范守善
• 申請（專利權）人: 清華大學;鴻富錦精密工業（深圳）有限公司
• 主分類號: G01N21/3586
• 分類號: G01N21/3586;G01J3/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種基于太赫茲波的檢測設備，其包括：一太赫茲波發射源，一探測器，以及一分別與該太赫茲波發射源和探測器連接的控制電腦；所述太赫茲波發射源包括一太赫茲反射速調管，其特征在于，所述太赫茲反射速調管包括：一電子發射單元、一諧振單元和一輸出單元，所述電子發射單元用于發射電子；所述諧振單元包括一諧振腔體，該諧振腔體與所述電子發射單元相通，該電子發射單元發射的電子進入所述諧振腔體，所述諧振腔體與所述電子發射單元相對的腔體壁具有一耦合輸出孔，所述輸出單元通過所述耦合輸出孔與所述諧振單元相通，所述諧振單元中產生的太赫茲波通過所述耦合輸出孔傳輸到所述輸出單元。

2.如權利要求1所述的基于太赫茲波的檢測設備，其特征在于，所述電子發射單元包括一基板、一陰極層、一電子注入層和一引出柵，所述基板具有一表面，所述陰極層設置于所述基板的表面，所述電子注入層設置于所述陰極層遠離所述基板的表面，所述電子注入層具有一垂直貫穿上下表面的電子發射孔道，該電子發射孔道內設有電子發射體，所述引出柵設置于所述電子注入層遠離所述陰極層的表面，且至少覆蓋所述電子發射孔道。

3.如權利要求2所述的基于太赫茲波的檢測設備，其特征在于，所述電子發射孔道具有預定傾斜度的傾斜側壁，該電子發射孔道的孔徑隨著遠離陰極層的方向逐漸變窄。

4.如權利要求3所述的基于太赫茲波的檢測設備，其特征在于，所述電子發射孔道呈現倒漏斗的形狀。

5.如權利要求2所述的基于太赫茲波的檢測設備，其特征在于，所述電子發射孔道的側壁涂覆有次級電子倍增材料。

6.如權利要求2所述的基于太赫茲波的檢測設備，其特征在于，所述電子發射體的整體形狀與所述電子發射孔道的側壁的形狀一致。

7.如權利要求2所述的基于太赫茲波的檢測設備，其特征在于，所述電子發射單元進一步包括一電阻層，該電阻層設置于所述電子發射體與陰極層之間，并與所述電子發射體接觸設置。

8.如權利要求7所述的基于太赫茲波的檢測設備，其特征在于，所述電阻層的電阻大于10GΩ。

9.如權利要求1所述的基于太赫茲波的檢測設備，其特征在于，所述耦合輸出孔設置于所述諧振腔體內磁場極大值位置的腔體壁。

10.一種基于太赫茲波的檢測設備，其包括：一太赫茲波發射源，一探測器，以及一分別與該太赫茲波發射源和探測器連接的控制電腦；其特征在于，所述太赫茲波發射源包括：

一基板；

多個太赫茲反射速調管，所述太赫茲反射速調管包括：一電子發射單元、一諧振單元和一輸出單元；所述電子發射單元用于發射電子；所述諧振單元包括一諧振腔體，該諧振腔體與所述電子發射單元相通，該電子發射單元發射的電子進入所述諧振腔體，所述諧振腔體與所述電子發射單元相對的腔體壁具有一耦合輸出孔，所述輸出單元通過所述耦合輸出孔與所述諧振單元相通，所述諧振單元中產生的太赫茲波通過所述耦合輸出孔傳輸到所述輸出單元；以及

多根行線及多根列線；所述多根行線平行間隔設置于所述基板，所述多根列線平行間隔且垂直多根行線設置；所述多根行線與多根列線相交處電絕緣，每相鄰兩根行線與相鄰兩根列線定義一格子單元，每一格子單元至少設置一太赫茲反射速調管；每一行太赫茲反射速調管與同一根行線電連接，每一列太赫茲反射速調管與同一根列線電連接。