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[發明專利]波導槽的制作方法在審

專利信息
申請號: 201610382263.2 申請日: 2016-06-01
公開(公告)號: CN107454759A 公開(公告)日: 2017-12-08
發明(設計)人: 劉大輝;楊潤伍 申請(專利權)人: 北大方正集團有限公司;珠海方正科技多層電路板有限公司
主分類號: H05K3/40 分類號: H05K3/40
代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司11205 代理人: 張洋,劉芳
地址: 100871 北京市海*** 國省代碼: 北京;11
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 波導 制作方法
【權利要求書】:

1.一種波導槽的制作方法,其特征在于,包括:

在PCB板上開設凹槽;

將所述PCB板浸沒在電鍍銅液中進行電鍍,在所述凹槽的側壁和底部均形成鍍銅層;

將形成鍍銅層的PCB板浸沒在電鍍錫液中進行電鍍,在所述鍍銅層上形成鍍錫層;

采用高精度電腦數控設備刮除所述凹槽底部的鍍錫層;

蝕刻掉所述凹槽底部的鍍銅層并蝕刻掉所述凹槽側壁的鍍錫層;

在所述凹槽側壁的鍍銅層上覆蓋保護層。

2.根據權利要求1所述的方法,其特征在于,所述高精度電腦數控設備控制刮除操作的厚度精度為2微米。

3.根據權利要求1所述的方法,其特征在于,所述蝕刻掉所述凹槽底部的鍍銅層具體包括:

采用堿性溶液蝕刻掉所述凹槽底部的鍍銅層。

4.根據權利要求3所述的方法,其特征在于,所述蝕刻掉所述凹槽側壁的鍍錫層具體包括:

采用酸性溶液蝕刻掉所述凹槽側壁的鍍錫層。

5.根據權利要求4所述的方法,其特征在于,所述酸性溶液為硝酸類溶液。

6.根據權利要求1-5任一項所述的方法,其特征在于,所述鍍銅層的厚度為15-100微米。

7.根據權利要求6所述的方法,其特征在于,所述鍍錫層的厚度為5-10微米。

8.根據權利要求7所述的方法,其特征在于,所述PCB板由所述芯板和半固化片依次疊加而成,所述凹槽的底部為所述芯板。

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