[發明專利]波導槽的制作方法在審
| 申請號: | 201610382263.2 | 申請日: | 2016-06-01 |
| 公開(公告)號: | CN107454759A | 公開(公告)日: | 2017-12-08 |
| 發明(設計)人: | 劉大輝;楊潤伍 | 申請(專利權)人: | 北大方正集團有限公司;珠海方正科技多層電路板有限公司 |
| 主分類號: | H05K3/40 | 分類號: | H05K3/40 |
| 代理公司: | 北京同立鈞成知識產權代理有限公司11205 | 代理人: | 張洋,劉芳 |
| 地址: | 100871 北京市海*** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 波導 制作方法 | ||
1.一種波導槽的制作方法,其特征在于,包括:
在PCB板上開設凹槽;
將所述PCB板浸沒在電鍍銅液中進行電鍍,在所述凹槽的側壁和底部均形成鍍銅層;
將形成鍍銅層的PCB板浸沒在電鍍錫液中進行電鍍,在所述鍍銅層上形成鍍錫層;
采用高精度電腦數控設備刮除所述凹槽底部的鍍錫層;
蝕刻掉所述凹槽底部的鍍銅層并蝕刻掉所述凹槽側壁的鍍錫層;
在所述凹槽側壁的鍍銅層上覆蓋保護層。
2.根據權利要求1所述的方法,其特征在于,所述高精度電腦數控設備控制刮除操作的厚度精度為2微米。
3.根據權利要求1所述的方法,其特征在于,所述蝕刻掉所述凹槽底部的鍍銅層具體包括:
采用堿性溶液蝕刻掉所述凹槽底部的鍍銅層。
4.根據權利要求3所述的方法,其特征在于,所述蝕刻掉所述凹槽側壁的鍍錫層具體包括:
采用酸性溶液蝕刻掉所述凹槽側壁的鍍錫層。
5.根據權利要求4所述的方法,其特征在于,所述酸性溶液為硝酸類溶液。
6.根據權利要求1-5任一項所述的方法,其特征在于,所述鍍銅層的厚度為15-100微米。
7.根據權利要求6所述的方法,其特征在于,所述鍍錫層的厚度為5-10微米。
8.根據權利要求7所述的方法,其特征在于,所述PCB板由所述芯板和半固化片依次疊加而成,所述凹槽的底部為所述芯板。
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