[發明專利]一種傳輸腔室的壓力控制方法及控制系統

有效

• 申請號: 201610382045.9
• 申請日: 2016-06-01
• 公開（公告）號: CN107452587B
• 公開（公告）日: 2019-10-11
• 發明（設計）人: 陳慶
• 申請（專利權）人: 北京北方華創微電子裝備有限公司
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 彭瑞欣;張天舒

1.一種傳輸腔室的壓力控制方法，所述傳輸腔室與反應腔室連接且之間設置有第一門閥，所述傳輸腔室與裝載腔室連接且之間設置有第二門閥，所述第一門閥和所述第二門閥用作晶片傳輸通道；所述傳輸腔室還設置有進氣閥和抽氣閥，其特征在于，所述壓力控制方法包括以下步驟：

獲取所述傳輸腔室內的當前壓力值；

對比所述傳輸腔室內的當前壓力值與目標壓力值；

通過所述傳輸腔室壓力值與所述進氣閥的進氣量和所述抽氣閥的抽氣量之間的對應關系，同時控制所述進氣閥的進氣量和所述抽氣閥的抽氣量，使得所述傳輸腔室內的當前壓力值達到所述目標壓力值；其中，

控制所述進氣閥的進氣量、所述抽氣閥的抽氣量具體為通過脈沖寬度調制方式控制所述進氣閥的進氣量、所述抽氣閥的抽氣量；并且，

所述獲取所述傳輸腔室內的當前壓力值之前，還包括步驟，獲取所述傳輸腔室壓力值與所述進氣閥的進氣量和所述抽氣閥的抽氣量之間的對應關系；

所述獲取所述傳輸腔室壓力值與所述進氣閥的進氣量和所述抽氣閥的抽氣量之間的對應關系包括：

當所述第一門閥及所述第二門閥均關閉時，通過脈沖寬度調制方式實時控制所述進氣閥的進氣量和所述抽氣閥的抽氣量，并獲取相應所述傳輸腔室內的壓力值，獲得所述傳輸腔室當前壓力值與所述進氣閥的進氣量和所述抽氣閥的抽氣量之間的對應關系；和/或，

當所述第一門閥關閉，同時所述第二門閥打開時，通過脈沖寬度調制方式實時控制所述進氣閥的進氣量和所述抽氣閥的抽氣量，并獲取相應所述傳輸腔室內的壓力值，獲得所述傳輸腔室當前壓力值與所述進氣閥的進氣量和所述抽氣閥的抽氣量之間的對應關系；和/或，

當所述第一門閥打開，同時所述第二門閥關閉時，通過脈沖寬度調制方式實時控制所述進氣閥的進氣量和所述抽氣閥的抽氣量，并獲取相應所述傳輸腔室內的壓力值，獲得所述傳輸腔室當前壓力值與所述進氣閥的進氣量和所述抽氣閥的抽氣量之間的對應關系。

2.一種傳輸腔室的壓力控制系統，所述傳輸腔室與反應腔室連接且之間設置有第一門閥，所述傳輸腔室與裝載腔室連接且之間設置有第二門閥，所述第一門閥和所述第二門閥用作晶片傳輸通道；所述傳輸腔室還設置有進氣閥和抽氣閥，其特征在于，所述壓力控制系統包括：

壓力獲取單元，用于獲取所述傳輸腔室內的當前壓力值并發送給控制單元；

抽氣閥，用于將抽氣閥的抽氣量發送給控制單元；

進氣閥，用于將進氣閥的進氣量發送給控制單元；

控制單元，用于對比所述傳輸腔室內的當前壓力值與目標壓力值，通過所述傳輸腔室壓力值與所述進氣閥的進氣量和所述抽氣閥的抽氣量之間的對應關系，同時控制所述進氣閥的進氣量和所述抽氣閥的抽氣量，使得所述傳輸腔室內的當前壓力值達到所述目標壓力值；其中，

所述控制單元控制所述進氣閥的進氣量、所述抽氣閥的抽氣量具體為通過脈沖寬度調制方式控制所述進氣閥的進氣量、所述抽氣閥的抽氣量；

所述的傳輸腔室的壓力控制系統還包括：

采集單元，用于獲取所述傳輸腔室壓力值與所述進氣閥的進氣量和所述抽氣閥的抽氣量之間的對應關系；

所述采集單元獲取所述傳輸腔室壓力值與所述進氣閥的進氣量和所述抽氣閥的抽氣量之間的對應關系包括：

當所述第一門閥及所述第二門閥均關閉時，通過脈沖寬度調制方式實時控制所述進氣閥的進氣量和所述抽氣閥的抽氣量，并獲取相應所述傳輸腔室內的壓力值，獲得所述傳輸腔室當前壓力值與所述進氣閥的進氣量和所述抽氣閥的抽氣量之間的對應關系；和/或，

當所述第一門閥關閉，同時所述第二門閥打開時，通過脈沖寬度調制方式實時控制所述進氣閥的進氣量和所述抽氣閥的抽氣量，并獲取相應所述傳輸腔室內的壓力值，獲得所述傳輸腔室當前壓力值與所述進氣閥的進氣量和所述抽氣閥的抽氣量之間的對應關系；和/或，

當所述第一門閥打開，同時所述第二門閥關閉時，通過脈沖寬度調制方式實時控制所述進氣閥的進氣量和所述抽氣閥的抽氣量，并獲取相應所述傳輸腔室內的壓力值，獲得所述傳輸腔室當前壓力值與所述進氣閥的進氣量和所述抽氣閥的抽氣量之間的對應關系。