[發明專利]空間碳化硅反射鏡組件改性層低溫制備方法在審
| 申請號： | 201610381026.4 | 申請日： | 2016-06-01 |
| 公開（公告）號： | CN105970169A | 公開（公告）日： | 2016-09-28 |
| 發明（設計）人： | 王晉峰;祝孟德;閆海濱 | 申請（專利權）人： | 南京施密特光學儀器有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/35 | 分類號： | C23C14/35;G02B1/10 |
| 代理公司： | 北京科億知識產權代理事務所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 湯東鳳 |
| 地址： | 210000 江*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 空間 碳化硅 反射 組件 改性 低溫 制備 方法 | ||
【權利要求書】：
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