[發(fā)明專利]用于輸送芯片的天車、運(yùn)行天車的系統(tǒng)與運(yùn)行天車的方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201610380684.1 | 申請日: | 2016-06-01 |
| 公開(公告)號: | CN106941089A | 公開(公告)日: | 2017-07-11 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 陳燦議;陳佑昆 | 申請(專利權(quán))人: | 美光科技公司 |
| 主分類號: | H01L21/677 | 分類號: | H01L21/677 |
| 代理公司: | 北京律盟知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司11287 | 代理人: | 宋獻(xiàn)濤 |
| 地址: | 美國愛*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 用于 輸送 芯片 天車 運(yùn)行 系統(tǒng) 方法 | ||
1.一種用于輸送芯片的天車,其特征在于,包括:
一運(yùn)行裝置,配置在一平臺的第一側(cè)上并沿著一預(yù)定路徑行進(jìn),其中所述平臺是吊掛在一天花板上,且所述運(yùn)行裝置包括一第一磁力單元;以及
一起吊裝置,是對應(yīng)于所述運(yùn)行裝置的位置而沿著所述預(yù)定路徑行進(jìn),其中所述起吊裝置是包括一第二磁力單元,且所述起吊裝置是通過所述第一磁力單元以及所述第二磁力單元之間產(chǎn)生的磁力而被吊掛在所述平臺的第二側(cè)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于輸送芯片的天車,其特征在于,所述運(yùn)行裝置進(jìn)一步包括:
一主體,其中所述第一磁力單元是配置在所述主體上;以及
至少一對機(jī)動輪,連接到所述主體。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于輸送芯片的天車,其特征在于,所述起吊裝置是進(jìn)一步包括:
一主體,其中所述第二磁力單元是配置在所述主體上;以及
至少一對機(jī)動輪,連接到所述主體。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于輸送芯片的天車,其特征在于,所述第一磁力單元以及所述第二磁力單元是永久磁鐵或暫時(shí)磁鐵。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于輸送芯片的天車,其特征在于,所述暫時(shí)磁鐵是一電磁鐵。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于輸送芯片的天車,其中所述電磁鐵包括:
一磁芯;以及
一導(dǎo)線線圈,包括多數(shù)個(gè)圍繞所述磁芯周邊的線圈,其中所述導(dǎo)電線圈 的兩末端是電連接到至少一電池。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于輸送芯片的天車,其特征在于,所述平臺會隔開所述運(yùn)行裝置以及所述起吊裝置,使得所述運(yùn)行裝置不直接接觸所述起吊裝置。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于輸送芯片的天車,其特征在于,所述起吊裝置包括一升降平臺,所述升降平臺是用來升降一物件。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于輸送芯片的天車,其特征在于,所述運(yùn)行裝置進(jìn)一步包括至少一障礙傳感器件,所述障礙傳感器件是用來偵測鄰近所述運(yùn)行裝置的障礙物。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于輸送芯片的天車,其特征在于,所述運(yùn)行裝置進(jìn)一步包括至少一位置傳感器件,所述位置傳感器件是用來判定所述運(yùn)行裝置的所在位置。
11.一種運(yùn)行天車的方法,包括:
通過一路徑規(guī)劃模塊以產(chǎn)生一預(yù)定路徑;
傳遞包括所述預(yù)定路徑的信息到一運(yùn)行裝置;
運(yùn)行所述運(yùn)行裝置,使其沿著所述預(yù)定路徑在一天花板的第一側(cè)行進(jìn),其中所述運(yùn)行裝置包括一第一磁力單元;以及
在所述運(yùn)行裝置的運(yùn)行過程中同時(shí)運(yùn)行一起吊裝置,使所述起吊裝置對應(yīng)于所述運(yùn)行裝置的所在位置而沿著所述預(yù)定路徑行進(jìn),其中所述起吊裝置包括一第二磁力單元,且所述起吊裝置是通過所述第一磁力單元以及所述第二磁力單元之間產(chǎn)生的磁力而被吊掛在所述平臺的第二側(cè)。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的運(yùn)行天車的方法,其中所述運(yùn)行裝置進(jìn)一步包括:
一主體,其中所述第一磁力單元是配置在所述主體上;以及
至少一對機(jī)動輪,連接到所述主體。
13.根據(jù)權(quán)利要求11所述的運(yùn)行天車的方法,其中所述起吊裝置進(jìn)一步包括:
一主體,其中所述第二磁力單元是配置在所述主體上;以及
至少一對機(jī)動輪,連接到所述主體。
14.根據(jù)權(quán)利要求11所述的運(yùn)行天車的方法,其特征在于,所述第一磁力單元以及所述第二磁力單元是永久磁鐵或暫時(shí)磁鐵。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的運(yùn)行天車的方法,其特征在于,所述暫時(shí)磁鐵是一電磁鐵。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的運(yùn)行天車的方法,其特征在于,所述電磁鐵包括:
一磁芯;以及
一導(dǎo)線線圈,包括多數(shù)個(gè)圍繞所述磁芯周邊的線圈,其中所述導(dǎo)電線圈的兩末端是電連接到至少一電池。
17.根據(jù)權(quán)利要求11所述的運(yùn)行天車的方法,其特征在于,所述平臺會隔開所述運(yùn)行裝置以及所述起吊裝置,使得所述運(yùn)行裝置不直接接觸所述起吊裝置。
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H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
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H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造
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