[發明專利]一種基板支撐結構及曝光機

有效

• 申請號: 201610379882.6
• 申請日: 2016-05-31
• 公開（公告）號: CN105824200B
• 公開（公告）日: 2017-08-29
• 發明（設計）人: 劉瀏;彭金寶;石鵬程
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;合肥京東方光電科技有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 北京中博世達專利商標代理有限公司11274
• 代理人: 申健

技術領域

本發明涉及機械設備技術領域，尤其涉及一種基板支撐結構及曝光機。

背景技術

顯示面板生產工藝中用到的很多設備內均設有基板支撐結構，用以支撐基板。

參照圖1，現有技術中的基板支撐結構包括基臺01，基臺01的上表面開設有多個安裝孔(圖中未示出)，每個安裝孔內均設有托舉件02，多個所述托舉件02的頂端位于同一水平面內。

由于托舉件02設置于基臺01上的安裝孔內，因此托舉件02不能沿平行于基臺01上表面的方向移動，即托舉件02的水平位置固定，但是對于不同的產品，基板上顯示區和非顯示區的布局設計不同，即基板上顯示區和非顯示區的位置不同，因此在生產不同產品時，托舉件02會支撐到基板的顯示區，進而在顯示區留下圓圈狀的痕跡，導致產品的良率受到嚴重影響。

發明內容

本發明的實施例提供一種基板支撐結構及曝光機，可減少現有技術中因托舉件的水平位置固定而對產品良率造成影響的問題。

為達到上述目的，本發明的實施例采用如下技術方案：

本發明實施例提供了一種基板支撐結構，包括多個托舉件和第一驅動裝置，多個所述托舉件的頂端位于同一水平面內，所述第一驅動裝置可驅動至少一個所述托舉件水平移動。

進一步的，還包括基臺和第二驅動裝置，所述基臺的上表面開設有滑槽，多個所述托舉件設置于所述滑槽內，所述第一驅動裝置可驅動至少一個所述托舉件在所述滑槽內水平移動，所述第二驅動裝置可驅動多個所述托舉件或所述基臺沿豎直方向移動，以使多個所述托舉件與所述基臺之間產生相對位移，隨著多個所述托舉件或所述基臺沿豎直方向的移動，多個所述托舉件的頂端可高于、平齊于或低于所述基臺的上表面。

進一步的，還包括導軌以及配合設置于所述導軌內的多個滑塊，多個所述托舉件與多個所述滑塊一一對應連接，所述第一驅動裝置可驅動至少一個所述滑塊沿所述導軌滑動，以帶動相應的所述托舉件在所述滑槽內水平移動。

進一步的，所述導軌固定設置，所述滑塊的上表面設有插槽，所述托舉件的至少一部分插入所述插槽內，所述托舉件可在所述插槽內沿豎直方向移動，還包括限位結構，當所述滑塊沿所述導軌滑動時，所述限位結構可防止所述托舉件在所述插槽內水平移動。

進一步的，所述限位結構包括兩個圓錐面，其中一個圓錐面為所述插槽的側面，另一個圓錐面為所述托舉件的側面，當所述滑塊沿所述導軌滑動時，所述托舉件的側面與所述插槽的側面抵接。

進一步的，所述滑槽包括多個十字形槽，多個所述托舉件一一對應設置于多個所述十字形槽內。

進一步的，所述滑槽內設有多個支撐板，所述支撐板與所述滑槽側壁的頂端通過鉸接軸鉸接，所述支撐板連接有第三驅動裝置，所述第三驅動裝置可驅動所述支撐板繞所述鉸接軸轉動，隨著所述支撐板的轉動，所述支撐板的上表面可與所述基臺的上表面平齊。

進一步的，所述基臺固定設置，所述第二驅動裝置與所述托舉件連接。

進一步的，所述基臺內開設有容納腔，所述滑槽與所述容納腔連通，所述第一驅動裝置和所述第二驅動裝置均設置于所述容納腔內。

進一步的，至少一個所述托舉件的頂端設有吸附孔，所述吸附孔連接有真空發生器。

本發明實施例提供的一種基板支撐結構，由于所述第一驅動裝置可驅動至少一個所述托舉件水平移動，因此在生產不同產品時，可根據基板上顯示區和非顯示區的位置來調整托舉件的水平位置，以減少支撐于基板顯示區的托舉件的個數，從而減少了托舉件在顯示區留下的圓圈狀痕跡的個數，進而減少了對產品良率造成影響的問題。

本發明實施例還提供了一種曝光機，包括上述任一技術方案中的基板支撐結構。

本發明實施例提供的曝光機，由于所述第一驅動裝置可驅動至少一個所述托舉件水平移動，因此在生產不同產品時，可根據基板上顯示區和非顯示區的位置來調整托舉件的水平位置，以減少支撐于基板顯示區的托舉件的個數，從而減少了托舉件在顯示區留下的圓圈狀痕跡的個數，進而減少了對產品良率造成影響的問題。

附圖說明

圖1為現有技術中基板支撐結構的俯視圖；

圖2為本發明實施例基板支撐結構的俯視圖；

圖3為本發明實施例基板支撐結構中導軌和滑塊的示意圖；

圖4為本發明實施例基板支撐結構中插槽的示意圖；

圖5為本發明實施例基板支撐結構中支撐板的示意圖。

具體實施方式