[發(fā)明專利]離軸照明裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201610379169.1
• 申請(qǐng)日: 2016-05-31
• 公開（公告）號(hào): CN107450272B
• 公開（公告）日: 2020-04-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 孫建超;忻斌杰;于大維
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海微電子裝備（集團(tuán)）股份有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/20
• 分類號(hào): G03F7/20
• 代理公司: 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時(shí)云

1.一種離軸照明裝置，其特征在于，包括：照明光纖、光源發(fā)射器、光束調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)換裝置、波片、第一分光棱鏡、第二分光棱鏡、對(duì)準(zhǔn)物鏡及探測裝置；所述照明光纖將多波長的光束打入至光源發(fā)射器，再由所述光源發(fā)射器將不同位置的光束發(fā)射至所述光束調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)換裝置的一側(cè)，所述光束調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)換裝置將接收的光束進(jìn)行分離和轉(zhuǎn)折，并在另一側(cè)將光束發(fā)射出，所述光束分別經(jīng)過所述波片、第一分光棱鏡、第二分光棱鏡和對(duì)準(zhǔn)物鏡照射至硅片面標(biāo)記上；由硅片面衍射的信號(hào)光被對(duì)準(zhǔn)物鏡收集，通過所述第一分光棱鏡和/或第二分光棱鏡被所述探測裝置收集信號(hào)；所述第一分光棱鏡的環(huán)形區(qū)域鍍高反射膜。

2.如權(quán)利要求1所述的離軸照明裝置，其特征在于，所述探測裝置包括第一探測裝置和第二探測裝置，所述第一探測裝置包括第一探測物鏡和第一探測器；所述第二探測裝置包括第二探測物鏡和第二探測器；硅片面衍射的信號(hào)光經(jīng)過所述第一探測物鏡和第二探測物鏡分別照射至第一探測器和第二探測器上。

3.如權(quán)利要求2所述的離軸照明裝置，其特征在于，所述硅片面衍射的信號(hào)光被對(duì)準(zhǔn)物鏡收集，并通過所述第二分光棱鏡被所述第一探測裝置收集信號(hào)，還通過所述第二分光棱鏡和第一分光棱鏡被所述第一探測裝置收集信號(hào)。

4.如權(quán)利要求1所述的離軸照明裝置，其特征在于，所述光束調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)換裝置包括PBS棱鏡、1/2波片和直角棱鏡；其中，1/2波片的兩個(gè)通光面分別與PBS棱鏡和直角棱鏡粘接；PBS棱鏡立方體邊長與光源發(fā)射器的發(fā)射端面邊長一致；在所述直角棱鏡的兩個(gè)直角面鍍內(nèi)反膜。

5.如權(quán)利要求1所述的離軸照明裝置，其特征在于，所述波片為1/2波片，由兩個(gè)直角三角形的1/2波片組合而成，兩個(gè)1/2波片的快軸相對(duì)夾角為45°或者135°。

6.如權(quán)利要求1所述的離軸照明裝置，其特征在于，所述光源發(fā)射器的端口位于水平和垂直方向。

7.一種離軸照明裝置，其特征在于，包括：照明光纖、光源發(fā)射器、光束調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)換裝置、波片、分光棱鏡、對(duì)準(zhǔn)物鏡及探測裝置；所述照明光纖將多波長的光束打入至光源發(fā)射器，再由所述光源發(fā)射器將不同位置的光束發(fā)射至所述光束調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)換裝置的一側(cè)，所述光束調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)換裝置將接收的光束進(jìn)行分離和轉(zhuǎn)折，并在另一側(cè)將光束發(fā)射出，所述光束分別經(jīng)過所述波片、分光棱鏡和對(duì)準(zhǔn)物鏡照射至硅片面標(biāo)記上；由硅片面衍射的信號(hào)光被對(duì)準(zhǔn)物鏡收集，通過所述分光棱鏡被所述探測裝置收集信號(hào)；所述分光棱鏡的環(huán)形區(qū)域鍍高反射膜。

8.如權(quán)利要求7所述的離軸照明裝置，其特征在于，所述探測裝置包括第一探測裝置和第二探測裝置，所述第一探測裝置包括第一探測物鏡和第一探測器；所述第二探測裝置包括第二探測物鏡和第二探測器；硅片面衍射的信號(hào)光經(jīng)過所述第一探測物鏡和第二探測物鏡分別照射至第一探測器和第二探測器上。

9.如權(quán)利要求8所述的離軸照明裝置，其特征在于，所述探測裝置還包括1/2波片、自參考棱鏡及PBS棱鏡，硅片面衍射的信號(hào)光被對(duì)準(zhǔn)物鏡收集，通過所述分光棱鏡照射至所述1/2波片上，經(jīng)過所述自參考棱鏡和PBS棱鏡分別被第一探測裝置和第二探測裝置進(jìn)行信號(hào)收集。

10.如權(quán)利要求7所述的離軸照明裝置，其特征在于，所述光束調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)換裝置包括PBS棱鏡、1/2波片和直角棱鏡；其中，1/2波片的兩個(gè)通光面分別與PBS棱鏡和直角棱鏡粘接；PBS棱鏡立方體邊長與光源發(fā)射器的發(fā)射端面邊長一致；在所述直角棱鏡的兩個(gè)直角面鍍內(nèi)反膜。

11.如權(quán)利要求7所述的離軸照明裝置，其特征在于，所述波片為1/2波片，由兩個(gè)直角三角形的1/2波片組合而成，兩個(gè)1/2波片的快軸相對(duì)夾角為45°或者135°。

12.如權(quán)利要求7所述的離軸照明裝置，其特征在于，所述光源發(fā)射器的端口位于與水平和垂直呈22.5°的方向上。