[發明專利]一種自動光學檢測裝置及方法

有效

• 申請號: 201610379093.2
• 申請日: 2016-05-31
• 公開（公告）號: CN107449778B
• 公開（公告）日: 2018-11-23
• 發明（設計）人: 陸海亮;賈俊偉;張鵬黎;周紅吉;徐文;王帆
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備（集團）股份有限公司
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88;G01N21/01
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

1.一種自動光學檢測裝置，其特征在于，包括：

至少n(n>1)個探測器，所述探測器可接收第二同步信號并進行圖像采集；

與所述探測器數量相同的閃爍光源，閃爍光源，所述閃爍光源可接收同步信號并發出脈沖光；

一工件臺，用于承載待測對象實現掃描運動，所述工件臺到達預定位置后可發出第一同步信號；以及

一同步控制器，所述同步控制器接收所述工件臺發出的第一同步信號，并與所述探測器、閃爍光源之間可進行信號交換，控制上述閃爍光源與探測器的開閉實現同步測量，使第i(i≤n)個探測器對應測得第i個閃爍光源照明的圖像閃爍光源。

2.如權利要求1所述的自動光學檢測裝置，其特征在于，還包括主控計算機，所述主控計算機與所述探測器、閃爍光源、工件臺以及同步控制器分別信號連接。

3.如權利要求1或2所述的自動光學檢測裝置，其特征在于，所述信號交換為所述同步控制器向探測器發出第二同步信號觸發探測器開啟，所述探測器開啟后可向外發出第四同步信號，所述第四同步信號可被對應的閃爍光源接收，觸發該閃爍光源開啟。

4.如權利要求1或2所述的自動光學檢測裝置，其特征在于，所述信號交換為所述同步控制器向探測器發出第二同步信號觸發探測器開啟，所述探測器開啟后可向外發出第四同步信號，所述第四同步信號可被所述同步控制器接收，經相應延遲后所述同步控制器向對應的所述閃爍光源發出第三同步信號，觸發該閃爍光源開啟。

5.如權利要求1所述的自動光學檢測裝置，其特征在于，所述閃爍光源為兩個，分別為明場照明光源和暗場照明光源。

6.如權利要求5所述的自動光學檢測裝置，其特征在于，所述閃爍光源采用閃爍LED或閃爍Xe燈，波長范圍為可見光、紅外或紫外。

7.如權利要求1所述的自動光學檢測裝置，其特征在于，所述閃爍光源為三個，分別為明場照明光源、暗場照明光源以及紅外光源。

8.如權利要求7所述的自動光學檢測裝置，其特征在于，所述紅外光源采用紅外LED，波長為780nm或以上。

9.如權利要求1所述的自動光學檢測裝置，其特征在于，所述待測對象為硅片、LED基底或TFT面板。

10.一種自動光學檢測方法，其特征在于，包括如下步驟：

S1：工件臺運動至測量位置并向同步控制器發出第一同步信號；

S2：所述同步控制器向第1個探測器發出第二同步信號，第1個探測器開始積分測量；

S3：所述同步控制器向第1個閃爍光源發出第三同步信號，第1個閃爍光源在第1個探測器的積分時間內發出脈沖光，第1個探測器獲得第1個閃爍光源照明下的圖像；

S4：第1個閃爍光源發光結束后，所述同步控制器向第2個探測器發出第二同步信號，第2個探測器開始積分測量；

S5：第1個探測器積分測量結束后，同步控制器向第2個閃爍光源發出第三同步信號，第2個閃爍光源在第2個探測器積分時間內發出脈沖光，第2個探測器獲得第2個閃爍光源照明下的圖像；

S6：直至n(n>1)個探測器均獲得對應的閃爍光源照明下的圖像。

11.如權利要求10所述的自動光學檢測方法，其特征在于，還包括與所述探測器、閃爍光源、工件臺以及同步控制器分別信號連接的主控計算機，所述主控計算機用于設置所述同步控制器的參數、所述探測器的參數、所述閃爍光源的亮度，以及控制工件臺運動。