[發(fā)明專利]一種采用超薄壓電單晶體制作的薄膜體聲波諧振器在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201610378566.7 | 申請日： | 2016-05-31 |
| 公開（公告）號： | CN106100601A | 公開（公告）日： | 2016-11-09 |
| 發(fā)明（設計）人： | 陳培杕;劉眾;李勇;宋松;楊鑫垚 | 申請（專利權）人： | 中電科技德清華瑩電子有限公司 |
| 主分類號： | H03H3/02 | 分類號： | H03H3/02;H03H9/02;H03H9/17;H03H9/54 |
| 代理公司： | 杭州豐禾專利事務所有限公司 33214 | 代理人： | 王曉峰 |
| 地址： | 313200 浙江省*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 采用 超薄 壓電 單晶體 制作 薄膜 聲波 諧振器 | ||
【權利要求書】：
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