[發明專利]一種溝槽型CoolMOS及其制作方法在審
| 申請號： | 201610375244.7 | 申請日： | 2016-05-31 |
| 公開（公告）號： | CN105870194A | 公開（公告）日： | 2016-08-17 |
| 發明（設計）人： | 周炳 | 申請（專利權）人： | 蘇州同冠微電子有限公司 |
| 主分類號： | H01L29/78 | 分類號： | H01L29/78;H01L29/06;H01L29/423;H01L21/336 |
| 代理公司： | 常州佰業騰飛專利代理事務所(普通合伙) 32231 | 代理人： | 翁斌 |
| 地址： | 215617 江蘇省蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 溝槽 coolmos 及其 制作方法 | ||
【說明書】：
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