[發明專利]紅外探測器中微橋結構的制備方法有效
| 申請號： | 201610370209.6 | 申請日： | 2016-05-30 |
| 公開（公告）號： | CN106092335B | 公開（公告）日： | 2019-02-05 |
| 發明（設計）人： | 康曉旭 | 申請（專利權）人： | 上海集成電路研發中心有限公司 |
| 主分類號： | G01J5/24 | 分類號： | G01J5/24;B81C1/00 |
| 代理公司： | 上海天辰知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 吳世華;尹英 |
| 地址： | 201210 上海市*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 紅外探測器 中微橋 結構 制備 方法 | ||
【權利要求書】：
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