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[發明專利]一種防氚滲透阻擋層的制備方法有效

專利信息
申請號: 201610369632.4 申請日: 2016-05-27
公開(公告)號: CN105803372B 公開(公告)日: 2018-08-28
發明(設計)人: 曹偉;桑革;陳長安;陳鎬;鄭振華;朱新亮;石巖 申請(專利權)人: 中國工程物理研究院材料研究所
主分類號: C23C2/12 分類號: C23C2/12;C23C2/30;C23C2/28
代理公司: 北京超凡志成知識產權代理事務所(普通合伙) 11371 代理人: 李進
地址: 621000 四*** 國省代碼: 四川;51
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摘要:
搜索關鍵詞: 一種 滲透 阻擋 制備 方法
【說明書】:
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