[發明專利]一種脈沖激光器輸出脈沖能量穩定性的檢測與評估方法

有效

• 申請號: 201610369599.5
• 申請日: 2016-05-30
• 公開（公告）號: CN105790046B
• 公開（公告）日: 2018-08-28
• 發明（設計）人: 羅怡;謝小健;朱亮;韓靜韜;丁宇;賈立成;張家豪;蔣志高
• 申請（專利權）人: 重慶理工大學
• 主分類號: H01S3/00
• 分類號: H01S3/00;G01M11/02
• 代理公司: 重慶華科專利事務所 50123
• 代理人: 康海燕

1.一種脈沖激光器輸出脈沖能量穩定性的檢測與評估方法，所述方法利用實時檢測激光器輸出激光束沖擊靶材產生的聲發射能量釋放特征，實現對激光能量輸出穩定性的評估；所述方法的步驟如下：

（1）安裝聲發射傳感器于靶材右側，且正對靶材中心位置；

（2）對靶材進行循環冷卻；

（3）將激光器輸出激光能量作用于靶材中心位置；

（4）實時采集輸出激光能量作用于靶材激發的聲發射信號，并繪制出信號的動態波形圖；

（5）關停激光能量輸出，并停止聲發射信號在線檢測；

（6）由聲發射信號動態波形提取出每個脈沖激光聲發射事件的平均振鈴計數和正峰均值；

（7）以正峰均值為 X 軸，以平均振鈴計數為 Y 軸，繪制正峰均值-平均振鈴計數特征分布圖；

（8）計算散點 X 軸坐標平均值 X ₀ 和 Y 軸坐標平均值 Y ₀ ，得到的位置（X₀ ，Y₀ ）作為散點群重心；

（9）計算各散點與散點群重心的間距值；

（10）統計間距值的標準差，作為聚集度指標，即聚集度因子，判斷激光能量輸出穩定性。

2.根據權利要求 1 所述的脈沖激光器輸出脈沖能量穩定性的檢測與評估方法，其特征在

于，判斷脈沖激光器輸出脈沖能量穩定性的方法為：

（1）正峰均值-平均振鈴計數特征分布圖中的散點分布越集中，脈沖激光器輸出脈沖能量的穩定性越好；

（2）聚集度因子越小，脈沖激光器輸出脈沖能量的穩定性越好。

3.根據權利要求 1 所述的脈沖激光器輸出脈沖能量穩定性的檢測與評估方法，其特征在于，所述步驟（1）的靶材材料為紫銅。

4.根據權利要求 1 所述的脈沖激光器輸出脈沖能量穩定性的檢測與評估方法，其特征在于，所述循環冷卻是采用循環水冷機，在靶材內部加工冷卻水通孔，與循環水冷機的循環水管路接通進行冷卻。