[發明專利]廢硅泥再利用處理方法

在審

• 申請號: 201610368470.2
• 申請日: 2016-05-27
• 公開（公告）號: CN107433279A
• 公開（公告）日: 2017-12-05
• 發明（設計）人: 謝雅敏;吳梅芳;陳皇志;陳偉圣
• 申請（專利權）人: 成亞資源科技股份有限公司
• 主分類號: B09B3/00
• 分類號: B09B3/00;B09B5/00
• 代理公司: 北京科龍寰宇知識產權代理有限責任公司11139
• 代理人: 孫皓晨,李林

1.一種廢硅泥再利用處理方法，由晶圓加工中所產生的廢切削液，在經過壓濾處理后的廢硅泥，其含液量小于50％重量比，廢硅泥中含有硅及碳化硅等固體物質，其特征在于，廢硅泥的處理方法如下：

干燥：將廢硅泥經過微波干燥設備進行微波干燥，微波干燥后一方面將廢硅泥中的油回收做為二次工業利用，另一方面能夠獲得含液量小于4％重量比的廢硅泥干渣；

成型：將含液量小于4％重量比的廢硅泥干渣，經由混煉設備中加入粘結劑及配方后充分混煉，均勻混合各種原料，再由輪輾設備進行輪輾，經過輪輾程序后則利用高壓干粉混合成型設備將廢硅泥干渣進行高壓成型，成型后即獲得碳化硅錠的產品，能夠做為鋼鐵廠的煉鋼原料。

2.一種廢硅泥再利用處理方法，由晶圓加工中所產生的廢切削液，在經過壓濾處理后的廢硅泥，其含液量小于50％重量比，廢硅泥中含有硅及碳化硅等固體物質，其特征在于，廢硅泥的處理方法如下：

干燥：將廢硅泥經過微波干燥設備進行微波干燥，微波干燥后一方面將廢硅泥中的油回收做為二次工業利用，另一方面能夠獲得含液量在4－10％重量比之間的廢硅泥干渣；

成型：將含液量在4－10％重量比之間的廢硅泥干渣，經由混煉設備中加入粘結劑及配方后充分混煉，均勻混合各種原料，再由輪輾設備進行輪輾，經過輪輾程序后則利用成型設備將廢硅泥干渣進行壓錠成型，成型后再經過一干燥設備做更進一步的干燥，即獲得碳化硅錠的產品，能夠做為鋼鐵廠的煉鋼原料。

3.一種廢硅泥再利用處理方法，其特征在于：將經過各種處理方式而取得含液量小于4％重量比的廢硅泥干渣，經由混煉設備中加入粘結劑及配方后充分混煉，均勻混合各種原料，再由輪輾設備經過輪輾程序，經過輪輾程序后則利用高壓干粉混合成型設備將廢硅泥干渣進行高壓成型，成型后即獲得碳化硅錠的產品，能夠做為鋼鐵廠的煉鋼原料。

4.一種廢硅泥再利用處理方法，其特征在于：將經過各種處理方式而取得含液量在4－10％重量比之間的廢硅泥干渣，經由混煉設備中加入粘結劑及配方后充分混煉，均勻混合各種原料，再由輪輾設備進行輪輾，經過輪輾程序后則利用成型設備將廢硅泥干渣進行壓錠成型，成型后再經過一干燥設備做更進一步的干燥，即獲得碳化硅錠的產品，能夠做為鋼鐵廠的煉鋼原料。

5.根據權利要求1、2、3或4所述的廢硅泥再利用處理方法，其特征在于，該粘結劑是水泥、燒結粉、粘土、紅磚土、酚醛樹脂、水玻璃、氫氧化鈉、氫氧化鋁膠、聚乙烯醇(PVA)、淀粉、瀝青、糖蜜中的任意一種。

6.根據權利要求1、2、3或4所述的廢硅泥再利用處理方法，其特征在于，該配方是純度在90％以上的硅粉、純度是80％以上的碳化硅粉中的任意一種。

7.根據權利要求1、2、3或4所述的廢硅泥再利用處理方法，其特征在于，在該輪輾過程中添加入粘結劑與配方。

8.根據權利要求1、2、3或4所述的廢硅泥再利用處理方法，其特征在于，該成品的碳化硅錠強度系大于100kg/cm²。

9.根據權利要求2或4所述的廢硅泥再利用處理方法，其特征在于，該成型制程中的干燥設備是真空微波干燥設備或其他真空干燥設備。