[發(fā)明專利]一種銅研磨方法及系統(tǒng)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201610367935.2 | 申請日： | 2016-05-30 |
| 公開（公告）號： | CN106002603B | 公開（公告）日： | 2018-10-16 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 同小剛;李雪亮;左威 | 申請（專利權(quán)）人： | 上海華力微電子有限公司 |
| 主分類號： | B24B37/013 | 分類號： | B24B37/013;B24B49/10 |
| 代理公司： | 上海天辰知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 吳世華;陳慧弘 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 研磨 方法 系統(tǒng) | ||
【權(quán)利要求書】：
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