[發明專利]一種薄膜結構及其形面控制方法有效
| 申請號： | 201610367214.1 | 申請日： | 2016-05-27 |
| 公開（公告）號： | CN106096080B | 公開（公告）日： | 2019-04-05 |
| 發明（設計）人： | 許睿;李東旭;蔣建平;鄒杰;劉望 | 申請（專利權）人： | 中國人民解放軍國防科學技術大學 |
| 主分類號： | G06F17/50 | 分類號： | G06F17/50 |
| 代理公司： | 北京中濟緯天專利代理有限公司 11429 | 代理人： | 陳立新 |
| 地址： | 410073 湖*** | 國省代碼： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 薄膜 結構 及其 控制 方法 | ||
【權利要求書】：
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