[發(fā)明專(zhuān)利]磁控管組件及磁控濺射設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201610365254.2
• 申請(qǐng)日: 2016-05-27
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN107435134B
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-06-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉菲菲;王寬冒
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C23C14/35
• 分類(lèi)號(hào): C23C14/35
• 代理公司: 北京天昊聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11112
• 代理人: 彭瑞欣;張?zhí)焓?/td>

1.一種磁控管組件，包括安裝背板和多個(gè)磁體組件，其特征在于，所述安裝背板包括多個(gè)子安裝背板；

相鄰兩個(gè)所述子安裝背板采用固定件進(jìn)行可拆卸固定安裝；

所述多個(gè)磁體組件按照預(yù)設(shè)排列方式安裝在所述安裝背板上，以模擬不同等離子體閉合路徑長(zhǎng)短所需的磁控管；其中，

多個(gè)所述子安裝背板沿圓周方向依次設(shè)置；并且，

多個(gè)所述子安裝背板的大小和形狀相同。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁控管組件，其特征在于，所述固定件包括第一固定片、第二固定片和固定柱；

所述第一固定片和所述第二固定片對(duì)應(yīng)相鄰兩個(gè)所述子安裝背板的連接處設(shè)置，且分別位于相鄰兩個(gè)所述子安裝背板的上表面和下表面上；

所述固定柱貫穿所述子安裝背板、第一固定片和第二固定片，用以將該相鄰兩個(gè)所述子安裝背板限制在所述第一固定片和所述第二固定片之間。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的磁控管組件，其特征在于，所述固定柱為螺釘，采用螺紋固定方式固定。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁控管組件，其特征在于，多個(gè)所述子安裝背板包括一個(gè)中心子安裝背板和至少兩個(gè)環(huán)狀的子安裝背板，且至少兩個(gè)環(huán)狀的子安裝背板各自的內(nèi)徑大小不同；

至少兩個(gè)環(huán)狀的所述子安裝背板沿徑向依次套置在所述中心子安裝背板的外側(cè)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的磁控管組件，其特征在于，環(huán)狀的所述子安裝背板的內(nèi)輪廓形狀和外輪廓形狀與所述中心子安裝背板的外輪廓形狀相似。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁控管組件，其特征在于，每個(gè)所述磁體組件包括：磁體、上蓋板和下蓋板；

所述磁體固定在所述上蓋板和下蓋板之間；

所述下蓋板固定在所述子安裝背板上。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的磁控管組件，其特征在于，在所述子安裝背板上設(shè)置有多個(gè)通孔，并且在所述下蓋板上設(shè)置有螺紋安裝孔；

借助螺釘穿過(guò)所述通孔與所述螺紋安裝孔固定。

8.一種磁控濺射設(shè)備，包括磁控管組件，其特征在于，所述磁控管組件采用權(quán)利要求1-7任意一項(xiàng)所述的磁控管組件。