[發明專利]用于在氧化鋅陶瓷基片上濺射鍍膜形成電極層的掩膜夾具在審
| 申請號： | 201610365133.8 | 申請日： | 2016-05-30 |
| 公開（公告）號： | CN105803391A | 公開（公告）日： | 2016-07-27 |
| 發明（設計）人： | 葉文超 | 申請（專利權）人： | 蘇州米盟智能裝備科技有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/04 | 分類號： | C23C14/04;H01C17/28 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 215300 江蘇省蘇州市昆山*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 氧化鋅 陶瓷 基片上 濺射 鍍膜 形成 電極 夾具 | ||
【權利要求書】：
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