[發(fā)明專利]多晶硅料的篩選及裝填坩堝的方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201610364027.8 | 申請日： | 2016-05-30 |
| 公開（公告）號： | CN105887192B | 公開（公告）日： | 2020-05-12 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 沈思情;劉浦鋒;宋洪偉;陳猛 | 申請（專利權(quán)）人： | 上海超硅半導(dǎo)體有限公司 |
| 主分類號： | C30B29/06 | 分類號： | C30B29/06;C30B15/00;B07B1/28;B07B1/46 |
| 代理公司： | 北京品源專利代理有限公司 11332 | 代理人： | 鞏克棟 |
| 地址： | 201604 上*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 多晶 篩選 裝填 坩堝 方法 | ||
【說明書】：
下載完整專利技術(shù)內(nèi)容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于上海超硅半導(dǎo)體有限公司，未經(jīng)上海超硅半導(dǎo)體有限公司許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作，請聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201610364027.8/2.html，轉(zhuǎn)載請聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。
