[發(fā)明專利]半導(dǎo)體可動離子的測試系統(tǒng)及其控制系統(tǒng)

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201610363894.X
• 申請日: 2016-05-27
• 公開（公告）號: CN107436384A
• 公開（公告）日: 2017-12-05
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 何驍偉
• 申請（專利權(quán)）人: 無錫華潤上華科技有限公司
• 主分類號: G01R29/24
• 分類號: G01R29/24
• 代理公司: 廣州華進聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司44224
• 代理人: 鄧云鵬

1.一種半導(dǎo)體可動離子的測試系統(tǒng)，包括：

控制裝置，用于設(shè)置測試參數(shù)、控制測試過程和顯示測試結(jié)果；

測量裝置，與所述控制裝置通信連接，接收所述控制裝置的測試參數(shù)和控制指令，并根據(jù)所述測試參數(shù)配置測試條件和根據(jù)控制指令執(zhí)行測試；

探針臺，用于通過探針接觸待測試半導(dǎo)體的焊盤，且與所述測量裝置電氣連接；

其中，所述控制裝置控制測量裝置輸出三角波，所述測量裝置通過所述探針臺向待測試半導(dǎo)體施加三角波電壓、收集測試結(jié)果并反饋給所述控制裝置。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體可動離子的測試系統(tǒng)，其特征在于，所述控制裝置基于通用計算機系統(tǒng)，且通過應(yīng)用程序執(zhí)行所述設(shè)置測試參數(shù)、控制測試過程和顯示測試結(jié)果的任務(wù)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體可動離子的測試系統(tǒng)，其特征在于，所述測量裝置與控制裝置之間通過GPIB協(xié)議進行通信。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體可動離子的測試系統(tǒng)，其特征在于，所述探針臺帶有晶圓加熱和溫度保持功能。

5.一種控制系統(tǒng)，用于權(quán)利要求3所述的測試系統(tǒng)中的控制裝置，其特征在于，所述控制系統(tǒng)包括：

通信模塊，用于建立所述控制裝置與測量裝置的通信連接，通過配置GPIB物理地址實現(xiàn)測試參數(shù)和控制指令的傳輸；

配置模塊，用于接收用戶通過交互界面輸入的參數(shù)或者默認(rèn)參數(shù)，并保存；

測量模塊，用于控制發(fā)送測試參數(shù)和控制指令；

數(shù)據(jù)采集模塊，用于在測試過程中采集測量裝置反饋的測試數(shù)據(jù)；

顯示模塊，用于顯示所述測試數(shù)據(jù)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的控制系統(tǒng)，其特征在于，還包括報錯模塊；所述報錯模塊在所述通信模塊、配置模塊、測量模塊、數(shù)據(jù)采集模塊的至少一者產(chǎn)生錯誤信息時，進行報錯處理。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的控制系統(tǒng)，其特征在于，基于Labview平臺開發(fā)。

8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的控制系統(tǒng)，其特征在于，所述配置模塊配置的參數(shù)包括保持時間。

9.根據(jù)權(quán)利要求5所述的控制系統(tǒng)，其特征在于，所述配置模塊配置的參數(shù)包括三角波掃描的起始電壓、結(jié)束電壓和掃描步長。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的控制系統(tǒng)，其特征在于，所述配置模塊配置的參數(shù)還包括三角波掃描的電壓變化間隔時間、掃描速率。