[發(fā)明專利]一種確定薄膜連續(xù)性的臨界厚度的方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201610363752.3 | 申請(qǐng)日： | 2016-05-26 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN106017338B | 公開（公告）日： | 2018-08-24 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 賀濤;王凱;褚衛(wèi)國(guó);張先鋒 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 國(guó)家納米科學(xué)中心 |
| 主分類號(hào)： | G01B11/06 | 分類號(hào)： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 北京路浩知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11002 | 代理人： | 李相雨 |
| 地址： | 100190 北*** | 國(guó)省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 確定 薄膜 連續(xù)性 臨界 厚度 方法 | ||
【權(quán)利要求書】：
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