[發明專利]具有參考光束的激光位移傳感器

在審

• 申請號: 201610363291.X
• 申請日: 2016-05-30
• 公開（公告）號: CN107449364A
• 公開（公告）日: 2017-12-08
• 發明（設計）人: 不公告發明人
• 申請（專利權）人: 上海礪晟光電技術有限公司
• 主分類號: G01B11/02
• 分類號: G01B11/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種可抑制激光漂移激光位移傳感器，它由激光器、發射鏡組、半反半透鏡、反射鏡、外殼、測控電路、電纜、光電器件、接收鏡組、濾光片等部分組成，其特征在于，本發明的激光位移傳感器發射鏡組前端加入一個半反半透鏡，從而產生兩束激光：一束透過半反半透鏡，形成測量光束；另一束經過半反半透鏡后發射，形成參考光束。

2.根據權利要求1所述的激光位移傳感器，其特征是，所述的參考光束經過一個反射鏡之后直接投向光電器件，形成參考波形。

3.此時光電器件上同時具有兩個波形，當激光器的激光束產生指向性漂移時，兩個波形的偏移量大小相等、而方向相反。

4.根據權利要求1所述的半反半透鏡，其特征是，所述的半反半透鏡的投射反射比例應不超過70%:30%，在保證測量光束具有足夠的強度的同時，有效避免參考光束直接投向光電器件產生飽和現象。

5.根據權利要求1所述的反射鏡，其特征是，所述的反射鏡的布局需要保證投向光電器件的參考光束方向與接收鏡組的光軸平行，從而保證參考波形與測量波形的對稱性，以便消除激光指向性漂移的影響。

6.一種用于上述激光位移傳感器的數據處理方法，利用測量波形與參考波形的位置之差作為被測位移值的表征，由此實現位移檢測，而且可以消除激光指向性的漂移產生的測量誤差。