[發明專利]具有載物補償功能的氣浮導軌平臺

有效

• 申請號: 201610362437.9
• 申請日: 2016-05-26
• 公開（公告）號: CN105834763B
• 公開（公告）日: 2017-12-22
• 發明（設計）人: 王文;趙鼎成;時光;盧科青;范宗尉;裘榮波
• 申請（專利權）人: 杭州電子科技大學
• 主分類號: B23Q1/38
• 分類號: B23Q1/38;F15B21/04;F15B21/08
• 代理公司: 杭州君度專利代理事務所(特殊普通合伙)33240
• 代理人: 杜軍

1.具有載物補償功能的氣浮導軌平臺，包括供氣模塊、驅動模塊、底座、導軌、氣嘴、載物臺和n個氣浮模塊，n≥4，其特征在于：所述的導軌固定在底座上；所述的氣浮模塊由氣浮軸套、O型密封圈、小孔節流器、線性位移傳感器和氣浮塊組成；氣浮塊的中心開設有氣浮軸套安裝孔和傳感器安裝孔，氣浮軸套安裝孔的孔壁開設氣嘴安裝孔，傳感器安裝孔的孔壁開設導線孔；氣浮軸套安裝孔內設置氣浮軸套；所述氣浮軸套的兩端與氣浮塊兩端均安裝有O型密封圈；傳感器安裝孔內設置線性位移傳感器，線性位移傳感器的電源線及數據線從導線孔穿出；線性位移傳感器的檢測面與底座的上表面平行；每個氣浮模塊的氣嘴安裝孔內放置一個氣嘴，供氣模塊給各個氣嘴供氣；載物臺與所有氣浮模塊的氣浮塊頂部均通過螺釘連接，驅動模塊通過絲杠螺母副或帶傳動機構驅動載物臺；

所述的氣浮軸套中心開設的導軌安裝孔與導軌間隙配合；氣浮軸套的外圓面開設有沿軸向布置的多個環形槽；每個環形槽底部開設通氣孔組；通氣孔組為沿圓周等角度但不均布的多個通氣孔，氣浮軸套位于下部的通氣孔多于位于上部的通氣孔；通氣孔的內端與氣浮軸套的導軌安裝孔連通；每個通氣孔內設置一個小孔節流器；所有環形槽的側部相通，并與氣浮塊的氣嘴安裝孔連通。

2.根據權利要求1所述的具有載物補償功能的氣浮導軌平臺，其特征在于：所述的供氣模塊包括空氣壓縮機、氣體過濾器、油霧分離器和n個精密減壓閥；空氣壓縮機的輸出口與氣體過濾器的輸入口連通，氣體過濾器的輸出口與油霧分離器的輸入口連通，油霧分離器的輸出口與n個精密減壓閥的輸入口均連通；每個精密減壓閥的輸出口與一個氣嘴的外端連接。

3.根據權利要求1所述的具有載物補償功能的氣浮導軌平臺，其特征在于：所述的小孔節流器開設有集氣孔、降壓孔和穩壓孔；集氣孔的外端與氣浮軸套上對應的通氣孔外端連通；降壓孔的兩端分別與集氣孔的內端和穩壓孔的外端連通；穩壓孔的內端與氣浮軸套上對應的通氣孔內端連通。

4.根據權利要求1所述的具有載物補償功能的氣浮導軌平臺，其特征在于：所述導軌的外圓面、氣浮軸套的導軌安裝孔孔壁、底座的上表面、載物臺的底面以及氣浮塊的上、下表面均為超精密加工面。