[發(fā)明專利]靜電放電電流波形檢測系統(tǒng)及測試方法

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• 申請?zhí)枺?/td>: 201610361369.4
• 申請日: 2016-05-27
• 公開（公告）號: CN107436382A
• 公開（公告）日: 2017-12-05
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 陳昭;程玉華
• 申請（專利權(quán)）人: 上海北京大學(xué)微電子研究院
• 主分類號: G01R23/16
• 分類號: G01R23/16;G01R13/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.靜電放電電流波形檢測系統(tǒng)，其特征在于，包括：可以調(diào)節(jié)升降的測試機(jī)臺，機(jī)臺上半部分為可以調(diào)節(jié)松緊的用于固定懸掛裝置的支架，所述支架可以固定法蘭盤；所述測試板含有容納螺絲通過的通孔，螺絲通過該通孔以及法蘭盤的通孔將測試板與法蘭盤連為一體；測試板側(cè)面含有插頭，用于連接一端含有配套插座的同軸電纜；測試板底部垂直焊接有pogo（ 彈簧單高蹺）探針，即探針垂直于測試板平面，用于接觸帶電器件，獲取所需波形；測試機(jī)臺底座上水平放置校準(zhǔn)模塊。

2.如權(quán)利要求1所述的靜電放電電流波形檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述固定懸掛裝置的支架，用于固定的部分為環(huán)形，內(nèi)徑略大于用于連接測試板的圓柱法蘭盤直徑。

3.如權(quán)利要求1所述的靜電放電電流波形檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述測試板含有兩個可以通過螺絲的通孔，用于將測試板與法蘭盤結(jié)合在一起，固定在測試機(jī)臺上，所述通孔距離測試板中心距離相等；所述測試板在與法蘭盤相連的對側(cè)焊接有pogo探針。

4.如權(quán)利要求1所述的靜電放電電流波形檢測系統(tǒng)，其特征在于，測試板所焊接的pogo探針，其所能工作的頻率范圍至少為1GHz。

5.如權(quán)利要求1所述的靜電放電電流波形檢測系統(tǒng)，其特征在于，測試板所焊接的pogo探針，通過1Ω電阻與測試板焊接相連，所用1Ω電阻為環(huán)形輻射電阻。

6.如權(quán)利要求1所述的靜電放電電流波形檢測系統(tǒng)，其特征在于，測試板所焊接的SMA插頭為標(biāo)準(zhǔn)插頭，可以與同軸電纜相連。

7.如權(quán)利要求1所述的靜電放電電流波形檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述校準(zhǔn)模塊是一種鍍金或鍍鎳的銅制圓盤，此圓盤位于一面有FR-4（耐燃材料等級代號）材料上，該材料厚度上限為2mm。

8.一種采用權(quán)利要求1所述的檢測系統(tǒng)來檢測靜電放電電流波形的方法，其特征在于，包括：將所述檢測系統(tǒng)的各個模塊固定在一個支架中；根據(jù)所需要的充電電壓，用直流電源對校準(zhǔn)模塊進(jìn)行充電；充電時，電源輸出端通過大電阻（MΩ級別），直流電壓源中的電流為0時為充電完畢，保持直流電壓源為開啟狀態(tài)；調(diào)節(jié)測試機(jī)臺，使得被固定的pogo探針下降，與待測器件引腳接觸，器件上的電流通過探針接觸，經(jīng)過同軸電纜傳輸，最終顯示的示波器上；示波器顯示波形后，進(jìn)行放電，放電過程為關(guān)閉直流電壓源，通過調(diào)節(jié)測試機(jī)臺螺旋，使得被固定的pogo探針上升，離開校準(zhǔn)模塊表面，與校準(zhǔn)模塊不接觸，完成放電，準(zhǔn)備下一次測試；根據(jù)所述測試過程，得到在示波器上顯示的電流波形，作為所需波形結(jié)果。