[發(fā)明專利]一種質(zhì)量流量控制器的校準(zhǔn)系統(tǒng)及方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201610355240.2 | 申請(qǐng)日： | 2016-05-25 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN106054855B | 公開(kāi)（公告）日： | 2018-08-24 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 劉濤;文強(qiáng);黃彪 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 上海華力微電子有限公司 |
| 主分類號(hào)： | G05B23/02 | 分類號(hào)： | G05B23/02 |
| 代理公司： | 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 智云 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 國(guó)省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書(shū)： | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū)： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 mfc 校準(zhǔn) 系統(tǒng) 方法 | ||
【說(shuō)明書(shū)】：
下載完整專利技術(shù)內(nèi)容需要扣除積分，VIP會(huì)員可以免費(fèi)下載。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于上海華力微電子有限公司，未經(jīng)上海華力微電子有限公司許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購(gòu)買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作，請(qǐng)聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201610355240.2/2.html，轉(zhuǎn)載請(qǐng)聲明來(lái)源鉆瓜專利網(wǎng)。
- 一種微生物燃料電池耦合電極生物膜除磷脫氮系統(tǒng)及應(yīng)用
- 處理難降解有機(jī)廢水的方法
- 一種處理難降解有機(jī)廢水的裝置及其用途
- 一種制備超高強(qiáng)度明膠或膠原基復(fù)合水凝膠的方法
- 一種質(zhì)量流量控制器的校準(zhǔn)系統(tǒng)及方法
- 一種基于宏纖維復(fù)合材料的拉索附加彎矩減振系統(tǒng)
- 一種基于宏纖維復(fù)合材料的拉索附加彎矩減振系統(tǒng)
- 一種利用微生物燃料電池聯(lián)合微生物電解池?zé)煔饷撓醯难b置和方法
- 模擬氣體質(zhì)量流量控制器通訊控制設(shè)備和系統(tǒng)
- 微纖化纖維素與聚乳酸復(fù)合材料及其制備方法
- 一種數(shù)據(jù)庫(kù)讀寫(xiě)分離的方法和裝置
- 一種手機(jī)動(dòng)漫人物及背景創(chuàng)作方法
- 一種通訊綜合測(cè)試終端的測(cè)試方法
- 一種服裝用人體測(cè)量基準(zhǔn)點(diǎn)的獲取方法
- 系統(tǒng)升級(jí)方法及裝置
- 用于虛擬和接口方法調(diào)用的裝置和方法
- 線程狀態(tài)監(jiān)控方法、裝置、計(jì)算機(jī)設(shè)備和存儲(chǔ)介質(zhì)
- 一種JAVA智能卡及其虛擬機(jī)組件優(yōu)化方法
- 檢測(cè)程序中方法耗時(shí)的方法、裝置及存儲(chǔ)介質(zhì)
- 函數(shù)的執(zhí)行方法、裝置、設(shè)備及存儲(chǔ)介質(zhì)
