[發明專利]一種用于掃描電鏡樣品臺升降防撞裝置

在審

• 申請號: 201610352119.4
• 申請日: 2016-05-25
• 公開（公告）號: CN107437487A
• 公開（公告）日: 2017-12-05
• 發明（設計）人: 王平;王國棟
• 申請（專利權）人: 寶山鋼鐵股份有限公司
• 主分類號: H01J37/20
• 分類號: H01J37/20;G01N23/22
• 代理公司: 上海集信知識產權代理有限公司31254
• 代理人: 王月珍

1.一種用于掃描電鏡樣品臺升降防撞裝置，包括樣品臺、樣品、樣品室側壁板、背散射探測器、二次電子探測器、電子槍鏡筒，所述樣品臺、樣品、背散射探測器、二次電子探測器、電子槍鏡筒安裝在樣品室內，電子槍鏡筒位于樣品室的上部，背散射探測器安裝在電子槍鏡筒的下方，樣品臺位于樣品室的下部，有樣品放置在樣品臺上，二次電子探測器安裝在電子槍鏡筒的側面，樣品室通過安裝樣品室側壁板構成真空密封空間，其特征在于：還包括激光發射器、透明鉛玻璃、激光接收器、驅動放大電路、升降電機，所述激光發射器、激光接收器安裝在樣品室左右外側，激光發射器發射激光束從樣品室外側透過鑲嵌在樣品室側壁板上的透明鉛玻璃射入再從對應的另一側透明鉛玻璃射出由激光接收器接收；所述升降電機與樣品臺相連，升降電機帶動樣品臺升降運動；激光發射器發射出的激光束掠過掃描電鏡的背散射探測器下方，激光束與背散射探測器設定空間距離，激光束為上方的探測器提供空間位置限位保護，當升降電機帶動樣品臺上的樣品上升時遮擋住激光束中任何一分光軸時，激光接收器就會輸出遮擋信號給驅動放大電路，驅動放大電路使升降電機勵磁脈沖通道處于高阻抗，無步進脈沖輸入使升降電機停止運行，防止樣品異常上升碰撞損壞背散射探測器。

2.按照權利要求1所述的一種用于掃描電鏡樣品臺升降防撞裝置，其特征在于：所述激光束的寬度大于背散射探測器的直徑。

3.按照權利要求1所述的一種用于掃描電鏡樣品臺升降防撞裝 置，其特征在于：所述透明鉛玻璃安放在掃描電鏡樣品室左右側壁板上，有真空密封圈襯墊在透明鉛玻璃靠近樣品室那一面，通過固定螺絲將擋板緊固壓在透明鉛玻璃上，真空密封圈也被壓緊形成真空密封。

4.按照權利要求3所述的一種用于掃描電鏡樣品臺升降防撞裝置，其特征在于：有支架通過緊固螺絲固定在樣品室側壁板上，有平板通過緊固螺絲固定在支架上，所述激光發射器、激光接收器固定在平板上。

5.按照權利要求1所述的一種用于掃描電鏡樣品臺升降防撞裝置，其特征在于：所述驅動放大電路包括來自激光接收器輸出的樣品遮擋信號、光電隔離器IC1、限流電阻R1和R2、反相器IC2和IC4、邏輯與門IC3、復位開關K、報警指示燈LED、3態總線驅動緩沖器IC5、IC6、IC7、IC8、開關晶體管、升降電機的勵磁繞組，所述激光接收器輸出的樣品遮擋信號經過光電隔離器IC1隔離后與限流電阻R1、反相器IC2輸入端相連；所述反相器IC2輸出端、復位開關K為邏輯與門IC3的兩個輸入端，邏輯與門IC3輸出端、升降電機脈沖信號與3態總線驅動緩沖器IC5、IC6、IC7和IC8相連，3態總線驅動緩沖器IC5、IC6、IC7和IC8分別通過驅動開關晶體管驅動樣品升降電機的勵磁繞組；所述邏輯與門IC3輸出端還與反相器IC4、報警指示燈LED、限流電阻R2依次相連。

6.按照權利要求1所述的一種用于掃描電鏡樣品臺升降防撞裝置，其特征在于：所述升降電機為升降步進電機。