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[發明專利]一種基于超磁致伸縮薄膜的懸臂梁叉指電容磁場傳感探頭有效

專利信息
申請號: 201610351721.6 申請日: 2016-05-20
公開(公告)號: CN106569155B 公開(公告)日: 2019-03-26
發明(設計)人: 劉月明;嚴紅梅;顧天文;張亮 申請(專利權)人: 中國計量大學
主分類號: G01R33/06 分類號: G01R33/06
代理公司: 暫無信息 代理人: 暫無信息
地址: 310018 浙江*** 國省代碼: 浙江;33
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 基于 超磁致 伸縮 薄膜 懸臂梁 電容 磁場 傳感 探頭
【權利要求書】:
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