[發明專利]一種微流控氣體阻尼器及調節方法

有效

• 申請號: 201610346327.3
• 申請日: 2016-05-23
• 公開（公告）號: CN106040323B
• 公開（公告）日: 2018-04-03
• 發明（設計）人: 倪中華;張鑫杰;項楠
• 申請（專利權）人: 東南大學
• 主分類號: B01L3/00
• 分類號: B01L3/00
• 代理公司: 南京瑞弘專利商標事務所(普通合伙)32249
• 代理人: 彭雄

1.一種微流控氣體阻尼器，其特征在于：包括由上到下依次設置的上層基片(1)、中層基片(3)和下層基片(4)；所述上層基片(1)上設置有進氣流道(8)、上控制流道(5)和出氣流道(9)；所述中層基片(3)上設置有直通流道(7)；所述下層基片(4)上設置有下控制流道(6)，其中：

所述上控制流道(5)包括第一上控制流支道(51)、第二上控制流支道(52)、第三上控制流支道(53)；所述第一上控制流支道(51)、第二上控制流支道(52)、第三上控制流支道(53)、下控制流道(6)、直通流道(7)的進氣端均與進氣流道(8)連通，而所述第一上控制流支道(51)、第二上控制流支道(52)、第三上控制流支道(53)以及下控制流道(6)的出氣端均與直通流道(7)連通；同時所述第二上控制流支道(52)、第三上控制流支道(53)的出氣端相對設置，所述第一上控制流支道(51)、下控制流道(6)的出氣端相對設置；所述直通流道(7)的出氣端與出氣流道(9)的進氣端連通；

所述直通流道(7)與第一上控制流支道(51)出氣端的連接處設置有第一彈性阻尼薄膜(21)，所述直通流道(7)與下控制流道(6)出氣端的連接處設置有第二彈性阻尼薄膜(22)；所述直通流道(7)與第二上控制流支道(52)出氣端的連接處設置有第一垂直薄膜(101)，所述直通流道(7)與第三上控制流支道(53)出氣端的連接處設置有第二垂直薄膜(102)。

2.根據權利要求1所述的微流控氣體阻尼器，其特征在于：還包括一個以上的中間氣壓波動調節機構，所述中間氣壓波動調節機構包括中間上控制流道和中間下控制流道，所述中間上控制流道包括中間第一上控制流支道、中間第二上控制流支道、中間第三上控制流支道；所述中間第一上控制流支道、中間第二上控制流支道、中間第三上控制流支道、中間下控制流道的進氣端分別與直通流道(7)連通；而所述中間第一上控制流支道、中間第二上控制流支道、中間第三上控制流支道、中間下控制流道的出氣端也分別與直通流道(7)連通；所述中間第二上控制流支道、中間第三上控制流支道的出氣端相對設置，所述中間第一上控制流支道、中間下控制流道的出氣端相對設置；

所述直通流道與中間第一上控制流支道出氣端的連接處設置有中間第一彈性阻尼薄膜，所述直通流道(7)與中間下控制流道出氣端的連接處設置有中間第二彈性阻尼薄膜；所述直通流道(7)與第二上控制流支道出氣端的連接處設置有中間第一垂直薄膜，所述直通流道(7)與中間第三上控制流支道出氣端的連接處設置有中間第二垂直薄膜。

3.根據權利要求2所述的微流控氣體阻尼器，其特征在于：所述上層基片(1)、中層基片(3)之間設置有第一水平薄膜(210)；所述第一水平薄膜(210)上設置有第一通孔(211)、第二通孔(212)、第三通孔(213)、第四通孔(214)、第六通孔、第七通孔、第八通孔、第九通孔；所述進氣流道(8)與直通流道(7)之間通過第一通孔(211)連通，所述出氣流道(9)與直通流道(7)之間通過第四通孔(214)連通；所述第二上控制流支道(52)與直通流道(7)之間通過第二通孔(212)連通，第三上控制流支道(53)與直通流道(7)之間通過第三通孔(213)連通；所述中間第二上控制流支道的進氣端與直通流道(7)之間通過第六通孔連通，而中間第二上控制流支道的出氣端與直通流道(7)之間通過第七通孔連通；所述中間第三上控制流支道的進氣端與直通流道(7)之間通過第八通孔連通，而中間第三上控制流支道的出氣端與直通流道(7)之間通過第九通孔連通；而所述第一彈性阻尼薄膜(21)、中間第一彈性阻尼薄膜為第一水平薄膜(210)的一部分。

4.根據權利要求3所述的微流控氣體阻尼器，其特征在于：所述中層基片(3)和下層基片(4)之間設置有第二水平薄膜(220)，所述第二水平薄膜(220)設置有第五通孔(221)、第十通孔和第十一通孔，所述下控制流道(6)與進氣流道(8)之間通過第五通孔(221)連通；所述中間下控制流道的進氣端與直通流道(7)之間通過第十通孔連通，而中間下控制流道的出氣端與直通流道(7)之間通過第十一通孔連通；所述第二彈性阻尼薄膜(22)、中間第二彈性阻尼薄膜為第二水平薄膜(220)的一部分。