[發明專利]氮化鋅膜、觸摸屏蓋板及膜的制備方法、應用有效
| 申請號: | 201610341169.2 | 申請日: | 2016-05-19 |
| 公開(公告)號: | CN106048526B | 公開(公告)日: | 2018-07-13 |
| 發明(設計)人: | 陳君;李濤 | 申請(專利權)人: | 上海科比斯光學科技有限公司 |
| 主分類號: | C23C14/08 | 分類號: | C23C14/08;C23C14/34;G06F3/041 |
| 代理公司: | 上海弼興律師事務所 31283 | 代理人: | 薛琦;余化鵬 |
| 地址: | 200233 上海市*** | 國省代碼: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 觸摸屏 氮化鋅薄膜 蓋板 制備 反應濺射 氮化鋅 氮氣 表面反射率 生產成本低 液晶顯示器 耐磨性 氮化 表面硬度 鍍膜功率 反應氣體 工作氣壓 濺射氣體 生產效率 表面能 蓋板膜 抗刮傷 鋅元素 遮光層 鍍膜 段差 可用 良率 貼合 鋅靶 應用 | ||
【說明書】:
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