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[發明專利]氮化鋅膜、觸摸屏蓋板及膜的制備方法、應用有效

專利信息
申請號: 201610341169.2 申請日: 2016-05-19
公開(公告)號: CN106048526B 公開(公告)日: 2018-07-13
發明(設計)人: 陳君;李濤 申請(專利權)人: 上海科比斯光學科技有限公司
主分類號: C23C14/08 分類號: C23C14/08;C23C14/34;G06F3/041
代理公司: 上海弼興律師事務所 31283 代理人: 薛琦;余化鵬
地址: 200233 上海市*** 國省代碼: 上海;31
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 觸摸屏 氮化鋅薄膜 蓋板 制備 反應濺射 氮化鋅 氮氣 表面反射率 生產成本低 液晶顯示器 耐磨性 氮化 表面硬度 鍍膜功率 反應氣體 工作氣壓 濺射氣體 生產效率 表面能 蓋板膜 抗刮傷 鋅元素 遮光層 鍍膜 段差 可用 良率 貼合 鋅靶 應用
【說明書】:
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1、專利原文基于中國國家知識產權局專利說明書;

2、支持發明專利 、實用新型專利、外觀設計專利(升級中);

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4、內容包括專利技術的結構示意圖、流程工藝圖技術構造圖;

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