[發明專利]一種觀測納米結構表面電荷分布的方法

有效

• 申請號: 201610336945.X
• 申請日: 2016-05-20
• 公開（公告）號: CN107402440B
• 公開（公告）日: 2020-01-07
• 發明（設計）人: 王江濤;柳鵬;魏洋;姜開利;范守善
• 申請（專利權）人: 清華大學;鴻富錦精密工業(深圳)有限公司
• 主分類號: G02B21/00
• 分類號: G02B21/00;G02B27/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發明公開了一種觀測納米結構表面電荷分布的方法，包括以下步驟：S1，提供一待測樣品，該待觀測樣品設置于一絕緣基底表面；S2，在該待測樣品的表面及周邊形成一層帶電納米微粒；S3，向該待測樣品表面通入蒸氣；以及S4，利用光學顯微鏡觀測所述帶電納米微粒在所述待測樣品周邊的分布情況，判斷所述待測樣品的表面電荷分布。利用本發明提供的方法可以更加高效、簡便、低成本的獲得納米結構表面電荷分布情況。

技術領域

本發明屬于納米技術領域，涉及一種觀測納米結構的方法。

背景技術

納米結構(Nanostructure)通常指尺寸在100nm以下的微小結構，也就是以納米尺度的物質單元為基礎，按一定規律構筑或組裝一種新的體系。納米技術是以許多現代先進科學技術為基礎的科學技術，其目的在于研究于納米尺度上，物質和設備的設計方法、組成、特性以及應用，目前在材料和制備、微電子和計算機技術、醫學與健康、航天和航空、環境和能源、生物技術和農產品等領域有許多重要的應用。表面電荷(Surface charge)即在界面處存在的電荷。現有技術中通常利用靜電力顯微鏡(Electrostatic ForceMicroscopy,EFM)來表征各種納米結構材料(如碳納米管)表面靜電勢能、電荷分布。然而上述觀測儀器結構復雜，操作并不十分容易，且需要花費較長時間，成本較高。

發明內容

有鑒于此，確有必要提供一種能夠簡便高效的觀測納米結構表面電荷分布的方法。

一種觀測納米結構表面電荷分布的方法，其特征在于，包括以下步驟：

S1，提供一具有納米結構的待測樣品，該待觀測樣品設置于一絕緣基底表面；

S2，向該待測樣品表面均勻噴射第一帶電納米微粒；以及

S3，向該待測樣品表面通入蒸氣，利用光學顯微鏡觀測所述帶電納米微粒在所述待測樣品周邊的分布情況，根據該分布情況判斷所述待測樣品的表面電荷分布。

一種觀測納米結構表面電荷分布的方法，包括以下步驟：

S1，提供一待測樣品，該待觀測樣品具有納米結構；

S2，提供一光學顯微鏡系統，該光學顯微鏡系統包括一光學顯微鏡及光學顯微鏡的輔助裝置,該光學顯微鏡包括物鏡以及載物臺，該光學顯微鏡的輔助裝置包括一鼓氣部、一蒸氣發生部以及一導汽管，所述述鼓氣部與所述蒸氣發生部的一端相互連接，所述蒸氣發生部的另一端與所述導汽管連接，所述鼓氣部向所述蒸氣發生部通入氣體，從而將所述蒸氣發生部產生的蒸氣帶入導汽管中；

S3，將所述待測樣品放置在所述載物臺上，向該待測樣品表面噴射噴射帶電納米微粒；

S4，利用所述光學顯微鏡的輔助裝置向所述待測樣品表面通入蒸氣；以及

S5，在所述光學顯微鏡下觀測所述納米微粒在所述待測樣品周邊的分布情況，根據該納米微粒的分布情況判斷所述待測樣品的表面電荷分布。

與現有技術相比，本發明提供的觀測納米結構表面電荷分布的方法通過在被測納米結構表面通入易揮發液體的蒸氣，在被觀測納米結構表面及納米微粒表面形成大量的液滴，從而使得該被測納米結構以及帶電納米微粒的輪廓清晰的被光學顯微鏡捕捉到，進而通過觀測帶電納米微粒在待測納米結構周邊的分布情況判斷所述待測納米結構的表面電荷分布情況。利用本發明提供的方法可以更加高效、簡便、低成本的獲得納米結構表面電荷分布情況。

附圖說明

圖1為本發明第一實施例提供的觀測納米結構表面電荷分布方法流程圖。

圖2為本發明實施例中使用的蒸氣提供裝置結構示意圖。

圖3為本發明實施例中另一種蒸氣提供裝置結構示意圖。