[發明專利]熱隔離微機電系統（MEMS）器件的單片制造在審
| 申請號： | 201610336430.X | 申請日： | 2016-05-20 |
| 公開（公告）號： | CN106167248A | 公開（公告）日： | 2016-11-30 |
| 發明（設計）人： | J.雷恩克;G.羅登 | 申請（專利權）人： | 霍尼韋爾國際公司 |
| 主分類號： | B81C1/00 | 分類號： | B81C1/00 |
| 代理公司： | 中國專利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 申屠偉進;王傳道 |
| 地址： | 美國新*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 隔離 微機 系統 mems 器件 單片 制造 | ||
【說明書】：
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