[發明專利]一種交替增量式測量微位移傳感器的測量方法

有效

• 申請號: 201610335272.6
• 申請日: 2016-05-19
• 公開（公告）號: CN105783740B
• 公開（公告）日: 2019-02-22
• 發明（設計）人: 張白;康學亮
• 申請（專利權）人: 北方民族大學
• 主分類號: G01B11/02
• 分類號: G01B11/02
• 代理公司: 四川力久律師事務所 51221
• 代理人: 王蕓

1.一種交替增量式測量微位移傳感器的測量方法，應用一種交替增量式測量微位移傳感器，該傳感器包括激光束(11)、兩塊反射鏡、光電探測器一(5)、光電探測器二(6)、導軌一(9)、導軌二(10)和控制處理系統，所述光電探測器一(5)設于所述導軌一(9)上并能在其上移動，所述光電探測器二(6)設于所述導軌二(10)上并能在其上移動，兩塊所述反射鏡平行設置并且能夠相對移動，所述光電探測器一(5)和光電探測器二(6)設置在兩塊所述反射鏡的一端，相對的另一端設置所述激光束(11)，所述激光束(11)入射到其中一塊所述反射鏡上，經過兩塊所述反射鏡交替反射后，出射到所述光電探測器一(5)或光電探測器二(6)并被感應，所述控制處理系統通信連接所述光電探測器一(5)和光電探測器二(6)，并用于統計所述光電探測器一(5)或光電探測器二(6)的感光里程及感光方向，所述光電探測器一(5)設有固定間距的探測部件一(51)、探測部件二(52)和探測部件三(53)，所述探測部件三(53)設于所述探測部件一(51)和探測部件二(52)的直線連線之間的任意位置，所述光電探測器二(6)設有固定間距的探測部件四(61)、探測部件五(62)和探測部件六(63)，所述探測部件六(63)設于所述探測部件四(61)和探測部件五(62)的直線連線之間的任意位置，所述探測部件一(51)、探測部件二(52)、探測部件三(53)、探測部件四(61)、探測部件五(62)和探測部件六(63)感應所述激光束(11)，所述控制處理系統用于統計所述探測部件一(51)、探測部件二(52)、探測部件三(53)、探測部件四(61)、探測部件五(62)和探測部件六(63)感應所述激光束(11)的次數和感光順序，其特征在于，兩塊反射鏡分別是固定反射鏡(2)和移動反射鏡(3)，其測量方法包括以下步驟：

a、將被測物體(8)通過一剛性件連接于所述移動反射鏡(3)；

b、發射一束激光束(11)，所述激光束(11)以一定角度入射在所述固定反射鏡(2)上，假設入射角為θ，所述激光束(11)經過所述固定反射鏡(2)和移動反射鏡(3)的連續反射后照射到所述光電探測器一(5)或光電探測器二(6)上，控制處理系統控制所述光電探測器一(5)在所述導軌一(9)上移動，使所述激光束(11)被所述探測部件一(51)、探測部件二(52)和探測部件三(53)中的一個感應，或者控制所述光電探測器二(6)在所述導軌二(10)上移動，使所述激光束(11)被所述探測部件四(61)、探測部件五(62)和探測部件六(63)中的一個感應，這個移動距離值為X；

c、移動所述被測物體(8)，帶動所述移動反射鏡(3)同時移動，同時所述激光束(11)的反射路徑變化，所述激光束(11)被所述光電探測器一(5)上的所述探測部件一(51)、探測部件二(52)和探測部件三(53)感應或者被所述光電探測器二(6)上的所述探測部件四(61)、探測部件五(62)和探測部件六(63)感應，所述被測物體(8)停止移動時，所述控制處理系統統計所述探測部件一(51)、探測部件二(52)、探測部件三(53)、探測部件四(61)、探測部件五(62)和探測部件六(63)感應到所述激光束(11)的次數和感光順序以及各探測部件間的間距，得出所述被測物體(8)的探測位移值Y以及位移方向；

d、所述控制處理系統根據其所得出的所述被測物體(8)的探測位移Y的值加上或者減去移動距離X的值經過計算后得出所述被測物體(8)位移的真實改變值。

2.根據權利要求1所述的位移傳感器的測量方法，其特征在于，根據所述探測部件一(51)、探測部件二(52)和探測部件三(53)的計數順序進行所測位移方向的判斷，如果計數順序依次為所述探測部件一(51)、探測部件三(53)和探測部件二(52)，則所測位移方向為接近所述固定反射鏡(2)的方向，如果計數順序依次為所述探測部件二(52)、探測部件三(53)和探測部件一(51)，則所測位移方向為遠離所述固定反射鏡(2)的方向。