[發(fā)明專利]使用多個(gè)電感和電容設(shè)備來(lái)施用多種等離子體條件以確定匹配網(wǎng)絡(luò)模型的系統(tǒng)和方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201610334670.6
• 申請(qǐng)日: 2016-05-19
• 公開（公告）號(hào): CN106169409B
• 公開（公告）日: 2018-04-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 亞瑟·M·霍瓦爾德;約翰·C·小瓦爾考
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 朗姆研究公司
• 主分類號(hào): H01J37/32
• 分類號(hào): H01J37/32
• 代理公司: 上海勝康律師事務(wù)所31263
• 代理人: 李獻(xiàn)忠,張靜

1.一種用于使用多個(gè)設(shè)備來(lái)施用多種等離子體條件以確定匹配網(wǎng)絡(luò)模型的固定參數(shù)的方法，其包括：

接收在第一設(shè)備的輸入端測(cè)量的第一輸出阻抗；

接收在阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)的輸入端測(cè)量的第一輸入阻抗，其中，在所述阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)的輸出端連接到所述第一設(shè)備的輸入端時(shí)測(cè)量所述第一輸入阻抗；

接收在第二設(shè)備的輸入端測(cè)量的第二輸出阻抗；

接收在所述阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)的輸入端測(cè)量的第二輸入阻抗，其中，當(dāng)所述阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)的輸出端連接到所述第二設(shè)備的輸入端時(shí)，測(cè)量所述第二輸入阻抗；

在匹配網(wǎng)絡(luò)模型的輸出端施用第一測(cè)量的輸出阻抗，以當(dāng)所述匹配網(wǎng)絡(luò)模型被分配第一頻率、第一可變電容、第一固定電感、第一固定電容和第一固定電阻時(shí)計(jì)算在所述匹配網(wǎng)絡(luò)模型的輸入端的第一預(yù)測(cè)的輸入阻抗；

在所述匹配網(wǎng)絡(luò)模型的輸出端施用第二測(cè)量的輸出阻抗，以當(dāng)所述匹配網(wǎng)絡(luò)模型被分配第二頻率、第二可變電容、所述第一固定電感、所述第一固定電容和所述第一固定電阻時(shí)計(jì)算在所述匹配網(wǎng)絡(luò)模型的輸入端的第二預(yù)測(cè)的輸入阻抗；

判定所述第一預(yù)測(cè)的輸入阻抗是否在離第一測(cè)量的輸入阻抗的預(yù)先確定的范圍內(nèi)以及所述第二預(yù)測(cè)的輸入阻抗是否在離第二測(cè)量的輸入阻抗的預(yù)先確定的范圍內(nèi)；以及

在確定所述第一預(yù)測(cè)的輸入阻抗在離所述第一測(cè)量的輸入阻抗的預(yù)先確定的范圍內(nèi)以及所述第二預(yù)測(cè)的輸入阻抗在離所述第二測(cè)量的輸入阻抗的預(yù)先確定的范圍內(nèi)時(shí)，分配所述第一固定電感、所述第一固定電容和所述第一固定電阻至所述匹配網(wǎng)絡(luò)模型。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，

其中，在所述阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)的輸入端連接到在第一頻率下操作的網(wǎng)絡(luò)分析器的輸出端時(shí)，針對(duì)所述阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)的第一可變電容測(cè)量所述第一測(cè)量的輸入阻抗，

其中，在所述阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)的輸入端連接到在第二頻率下操作的所述網(wǎng)絡(luò)分析器的輸出端時(shí)，針對(duì)所述阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)的第二可變電容測(cè)量所述第二測(cè)量的輸入阻抗，

所述方法還包括：

判定所述第一測(cè)量的輸入阻抗是否在預(yù)先確定的阻抗的預(yù)先確定的閾值之內(nèi)；

在確定所述第一測(cè)量的輸入阻抗在所述預(yù)先確定的阻抗的預(yù)先確定的閾值之內(nèi)時(shí)存儲(chǔ)所述第一頻率和所述第一可變電容；

判定所述第二測(cè)量的輸入阻抗是否在預(yù)先確定的阻抗的預(yù)先確定的閾值之內(nèi)；以及

在確定所述第二測(cè)量的輸入阻抗在所述預(yù)先確定的阻抗的預(yù)先確定的閾值之內(nèi)時(shí)存儲(chǔ)第二頻率和第二可變電容。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述第一測(cè)量的輸入阻抗由網(wǎng)絡(luò)分析器測(cè)量，其中所述第一測(cè)量的輸入阻抗是復(fù)數(shù)值，其中所述阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)的輸入端被配置成耦合到所述阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)的分支電路，其中在晶片的處理過(guò)程中所述分支電路被配置為耦合到RF產(chǎn)生器。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中在所述阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)的輸入端連接到在第一頻率下操作的網(wǎng)絡(luò)分析器的輸出端時(shí)針對(duì)所述阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)的第一可變電容測(cè)量所述第一測(cè)量的輸入阻抗，其中所述阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)的所述第一可變電容是所述阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)的一個(gè)或多個(gè)可變電容器的組合的可變電容。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述第一設(shè)備是用于獲得S11測(cè)量值的負(fù)載阻抗設(shè)備，所述第二設(shè)備是用于獲得S11測(cè)量值的負(fù)載阻抗設(shè)備。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述第二輸入阻抗由網(wǎng)絡(luò)分析器測(cè)量，其中所述第二輸入阻抗是復(fù)數(shù)值，其中所述阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)的輸入端被配置成耦合到所述阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)的分支電路，其中在晶片的處理過(guò)程中所述分支電路被配置為耦合到RF產(chǎn)生器。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中在所述阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)的輸入端連接到在第二頻率下操作的網(wǎng)絡(luò)分析器的輸出端時(shí)針對(duì)所述阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)的第二可變電容測(cè)量所述第二測(cè)量的輸入阻抗，其中所述阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)的所述第二可變電容是所述阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)的一個(gè)或多個(gè)可變電容器的組合的可變電容。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中判定所述第一預(yù)測(cè)的輸入阻抗是否在離所述第一測(cè)量的輸入阻抗的預(yù)先確定的范圍內(nèi)與判定所述第二預(yù)測(cè)的輸入阻抗是否在離所述第二測(cè)量的輸入阻抗的預(yù)先確定的范圍內(nèi)同時(shí)進(jìn)行。