[發(fā)明專利]微機電系統(tǒng)裝置及其制造方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201610334198.6
• 申請日: 2016-05-19
• 公開（公告）號: CN107399711A
• 公開（公告）日: 2017-11-28
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 曾立天;錢元晧
• 申請（專利權(quán)）人: 蘇州明皜傳感科技有限公司
• 主分類號: B81B3/00
• 分類號: B81B3/00;B81B7/00;B81C3/00
• 代理公司: 上海專利商標事務(wù)所有限公司31100
• 代理人: 郭蔚

1.一種微機電系統(tǒng)裝置，其特征在于，包含：

一第一基板，其一第一表面包含一第一電路、一第二電路以及一第一導電接點；

一第二基板，其具有一第二表面、一第三表面以及設(shè)置于該第三表面的一第二導電接點，其中該第二基板以該第二表面設(shè)置于該第一基板的該第一表面，并與該第一導電接點電性連接，且該第二基板包含：

一第一可動元件，其與該第一電路電性連接；以及

一第二可動元件，其與該第二電路相對應，且與該第一可動元件電性分離；以及

一第三基板，其具有一第四表面以及一第五表面，其中該第三基板以該第四表面設(shè)置于該第二基板的該第三表面，并與該第二導電接點電性連接，且該第三基板分為彼此電性分離的一第一蓋體以及一第二蓋體，其中該第一蓋體相應于該第一可動元件設(shè)置且與該第一可動元件空間上分離；該第二蓋體與該第二可動元件連接，且該第二蓋體與該第一基板之間形成一氣密空腔。

2.如權(quán)利要求1所述的微機電系統(tǒng)裝置，其特征在于，該第一基板更包含一參考電路，且該第二基板更包含參考元件，其與該參考電路相對應且與該第二蓋體電性分離。

3.如權(quán)利要求1所述的微機電系統(tǒng)裝置，其特征在于，該第二蓋體具有一第一凹槽，其設(shè)置于該第五表面，以薄化部分該第二蓋體。

4.如權(quán)利要求2所述的微機電系統(tǒng)裝置，其特征在于，該第二蓋體與該第二可動元件的連接區(qū)域小于該第一凹槽的底部面積。

5.如權(quán)利要求1所述的微機電系統(tǒng)裝置，其特征在于，該第一蓋體具有一第二凹槽，其設(shè)置于該第四表面，且相對于該第一可動元件。

6.如權(quán)利要求1所述的微機電系統(tǒng)裝置，其特征在于，該第二凹槽的底部設(shè)有一止動凸堆。

7.如權(quán)利要求1所述的微機電系統(tǒng)裝置，其特征在于，該第一可動元件以及該第二可動元件至少其中之一的該第二表面具有一止動凸塊。

8.如權(quán)利要求1所述的微機電系統(tǒng)裝置，其特征在于，該第一基板包含一互補式金氧半導體基板。

9.如權(quán)利要求1所述的微機電系統(tǒng)裝置，其特征在于，該第二基板或該第三基板包含單晶硅。

10.如權(quán)利要求1所述的微機電系統(tǒng)裝置，其特征在于，該第一導電接點包含一合金，其包含鋁、銅、鍺、銦、金以及硅至少其中之一。

11.如權(quán)利要求1所述的微機電系統(tǒng)裝置，其特征在于，該第二導電接點包含一合金，其包含鋁、銅、鍺、銦、金以及硅至少其中之一。

12.如權(quán)利要求1所述的微機電系統(tǒng)裝置，其特征在于，該第一可動元件以及該第一電路形成一加速度計、陀螺儀、濕度計或磁力計。

13.一種微機電系統(tǒng)裝置的制造方法，其特征在于，包含：

提供一第三基板，其具有一第四表面以及一第五表面，并于該第四表面定義多個第一連接區(qū)域；

提供一第二基板，其具有一第二表面以及一第三表面，并于該第三表面定義多個第二連接區(qū)域；

將該第三基板與該第二基板接合，其中該多個第一連接區(qū)域以及該多個第二連接區(qū)域?qū)B接；

于該第二基板的該第二表面定義多個第三連接區(qū)域；

將該第二基板分割成彼此電性分離的一第一可動元件以及一第二可動元件，其中該第一可動元件與該第三基板空間上分離，且該第二可動元件與該第三基板連接；

提供一第一基板，其一第一表面包含一第一電路以及一第二電路；

于該第一基板的該第一表面定義多個第四連接區(qū)域；

將該第一基板與該第二基板接合，其中該多個第四連接區(qū)域以及該多個第三連接區(qū)域?qū)B接，第一電路與該第一可動元件電性連接，且該第二電路與該第二可動元件相對應；

薄化該第三基板；以及

分割該第三基板為一第一蓋體以及一第二蓋體，其中該第一蓋體對應于該第一可動元件，且該第二蓋體與該第一基板之間形成一氣密空腔。

14.如權(quán)利要求13所述的微機電系統(tǒng)裝置的制造方法，其特征在于，該多個第二連接區(qū)域其中之一與該第二基板電性分離，且形成該第一可動元件以及該第二可動元件的步驟更定義一參考元件，其經(jīng)由與該第二基板電性分離的該第二連接區(qū)域與該第三基板連接，且與該第一基板之一參考電路相對應。