[發明專利]量測微電容的探針卡在審
| 申請號： | 201610333891.1 | 申請日： | 2016-05-19 |
| 公開（公告）號： | CN107402319A | 公開（公告）日： | 2017-11-28 |
| 發明（設計）人： | 陳岳宏 | 申請（專利權）人： | 蘇州明皜傳感科技有限公司 |
| 主分類號： | G01R1/073 | 分類號： | G01R1/073;G01R27/26 |
| 代理公司： | 上海專利商標事務所有限公司31100 | 代理人： | 郭蔚 |
| 地址： | 215123 江蘇省蘇州市蘇州工*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 量測微 電容 探針 | ||
【權利要求書】：
1.一種量測微電容的探針卡，其特征在于，包含：
一基板，其具有一第一表面以及一第二表面，其中該基板的該第一表面設有多個導電接點，該第二表面設有多個探針以接觸一待測物的多個測試接點，且該多個探針與相對應的該多個導電接點電性連接；以及
一電容數字轉換器，其設置于該基板的該第一表面，且與相對應的該多個導電接點電性連接，以量測該待測物的至少一微電容并轉換為一數字信號。
2.如權利要求1所述的量測微電容的探針卡，其特征在于，該基板為一標準基板。
3.如權利要求1所述的量測微電容的探針卡，其特征在于，該電容數字轉換器以多個引線與相對應的該多個導電接點電性連接。
4.如權利要求3所述的量測微電容的探針卡，其特征在于，該多個引線的長度小于或等于5cm。
5.如權利要求1所述的量測微電容的探針卡，其特征在于，該探針至該電容數字轉換器的導電路徑小于或等于5cm。
6.如權利要求1所述的量測微電容的探針卡，其特征在于，該電容數字轉換器的量測范圍為±4pF。
7.如權利要求1所述的量測微電容的探針卡，其特征在于，該電容數字轉換器對寄生電容的容忍范圍小于60pF。
8.如權利要求1所述的量測微電容的探針卡，其特征在于，該待測物為一晶圓。
9.如權利要求1所述的量測微電容的探針卡，其特征在于，該待測物為一晶圓級微機電裝置傳感器。
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