[發明專利]一種高強度雙層減反膜的制備方法

有效

• 申請號: 201610333647.5
• 申請日: 2016-05-18
• 公開（公告）號: CN105789340B
• 公開（公告）日: 2017-08-18
• 發明（設計）人: 秦崇德;方結彬;石強;黃玉平;何達能;陳剛
• 申請（專利權）人: 廣東愛康太陽能科技有限公司
• 主分類號: H01L31/0216
• 分類號: H01L31/0216;H01L31/18
• 代理公司: 佛山市中迪知識產權代理事務所(普通合伙)44283
• 代理人: 張伶俐

1.一種高強度雙層減反膜的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

1)氧化鈦溶膠的制備：取鈦酸丁脂、乙酰丙酮、乙醇、醋酸和去離子水按照摩爾比為1:1:50:2:3的比例混合，采用離心攪拌機攪拌均勻，置于室溫下老化120-168小時后，得氧化鈦溶膠，備用；

2)氧化硅溶膠的制備：取正硅酸乙脂、去離子水、鹽酸標準溶液、乙醇按照摩爾比為1:2:0.5:40的比例混合，采用離心攪拌機攪拌均勻，在溫度為20℃，相對濕度為30％，靜置168小時，得氧化硅溶膠，備用；

3)玻璃片的準備：將鍍膜用玻璃片依次用去離子水和酒精沖洗干凈后，用氮氣吹干；

4)鍍雙層減反膜：在相對濕度＜50％時，采用提拉鍍膜法將步驟1)所得氧化鈦溶膠鍍在步驟3)中清洗后玻璃片的兩面，在玻璃片的正反面各形成一層氧化鈦薄膜，氧化鈦薄膜的厚度為110-130nm，再將步驟2)所得氧化硅溶膠，通過提拉鍍膜法鍍在氧化鈦薄膜的外側，在氧化鈦薄膜的表面形成一層氧化硅薄膜，氧化硅薄膜的厚度為90-110nm；

5)烘干、成品：將步驟4)所得鍍雙層膜的玻璃片，置于烘箱中烘干，即得成品。

2.根據權利要求1所述的一種高強度雙層減反膜的制備方法，其特征在于，所述步驟1)和步驟2)中的乙醇均為無水乙醇。

3.根據權利要求1所述的一種高強度雙層減反膜的制備方法，其特征在于，所述步驟2)中鹽酸標準溶液的pH＝1。

4.根據權利要求1所述的一種高強度雙層減反膜的制備方法，其特征在于，所述步驟1)中離心攪拌機的轉速為12000-16000rpm，攪拌時間為3-5min。

5.根據權利要求1或4所述的一種高強度雙層減反膜的制備方法，其特征在于，所述步驟2)中離心攪拌機的轉速為12000-16000rpm，攪拌時間為3-5min。

6.根據權利要求1所述的一種高強度雙層減反膜的制備方法，其特征在于，所述步驟4)中采用提拉鍍膜法時的提拉速度為6-12inch/min。

7.根據權利要求1所述的一種高強度雙層減反膜的制備方法，其特征在于，所述步驟4)中氧化鈦薄膜折射率為1.94-1.96；

所述氧化硅薄膜折射率為1.41-1.43。

8.根據權利要求1所述的一種高強度雙層減反膜的制備方法，其特征在于，所述步驟5)中，烘箱內溫度為200-250℃，烘烤時間為50-70min。