[發明專利]一種鐵氧體薄膜的制備方法及具有該鐵氧體薄膜的電極在審
| 申請號： | 201610332624.2 | 申請日： | 2016-05-18 |
| 公開（公告）號： | CN107399963A | 公開（公告）日： | 2017-11-28 |
| 發明（設計）人： | 牛輝;陳智軍 | 申請（專利權）人： | 中山因塞施特電子科技有限公司 |
| 主分類號： | C04B35/26 | 分類號： | C04B35/26;H01B5/14;H01B1/08 |
| 代理公司： | 北京聯瑞聯豐知識產權代理事務所(普通合伙)11411 | 代理人： | 張清彥 |
| 地址： | 528437 廣東省中山市火*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 鐵氧體 薄膜 制備 方法 具有 電極 | ||
【權利要求書】：
1.一種鐵氧體薄膜的制備方法，其特征在于：包括以下步驟：
步驟(1)：制備鐵氧體粉料；
步驟(2)：把步驟(1)的鐵氧體粉料高速噴射在基板上，使鐵氧體粉料粘附在基板上形成致密的鐵氧體層；
步驟(3)：對經過步驟(2)處理的鐵氧體層進行熱處理得到鐵氧體薄膜。
2.根據權利要求1所述的鐵氧體薄膜的制備方法，其特征在于：所述步驟(1)的鐵氧體粉料依次通過對原材料進行混合、預燒結和粉碎得到。
3.根據權利要求1所述的鐵氧體薄膜的制備方法，其特征在于：所述步驟(2)的鐵氧體粉料通過高速噴射裝置噴射在所述基板上，所述鐵氧體粉料的噴射速度為520m/s～3000m/s。
4.根據權利要求3所述的鐵氧體薄膜的制備方法，其特征在于：所述鐵氧體粉料的噴射速度為540m/s。
5.根據權利要求1所述的鐵氧體薄膜的制備方法，其特征在于：所述步驟(2)的鐵氧體粉料來回噴射在所述基板上。
6.一種電極，其特征在于：所述電極具有上述權利要求1～5中任一項權利要求所述的鐵氧體薄膜，所述電極包括基板及粘設于基板上的鐵氧體薄膜。
7.根據權利要求6所述的電極，其特征在于：所述鐵氧體薄膜包括若干層粘附在一起的鐵氧體粉料。
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