[發明專利]一種基于MEMS的電容式紅外氣體傳感器有效
| 申請號： | 201610331591.X | 申請日： | 2016-05-18 |
| 公開（公告）號： | CN105823749B | 公開（公告）日： | 2019-04-23 |
| 發明（設計）人： | 顧芳;孫亞飛;張加宏;李敏 | 申請（專利權）人： | 南京信息工程大學 |
| 主分類號： | G01N21/3518 | 分類號： | G01N21/3518 |
| 代理公司： | 南京鐘山專利代理有限公司 32252 | 代理人： | 戴朝榮 |
| 地址： | 210019 江*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 基于 mems 電容 紅外 氣體 傳感器 及其 制備 方法 | ||
【權利要求書】：
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于南京信息工程大學，未經南京信息工程大學許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201610331591.X/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：一種氣體檢測的方法及設備
- 下一篇：一種測定化渣助熔劑中硫含量的方法
