[發明專利]一種處理高純砷烷的鋼瓶方法有效
| 申請號： | 201610330685.5 | 申請日： | 2016-05-18 |
| 公開（公告）號： | CN105927851B | 公開（公告）日： | 2018-02-23 |
| 發明（設計）人： | 湯劍波;李東升 | 申請（專利權）人： | 上海正帆科技股份有限公司;合肥正帆電子材料有限公司 |
| 主分類號： | F17C7/00 | 分類號： | F17C7/00;F17C13/02 |
| 代理公司： | 上海申匯專利代理有限公司31001 | 代理人： | 翁若瑩 |
| 地址： | 201108 上海*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 處理 高純 鋼瓶 方法 | ||
1.一種處理高純砷烷鋼瓶的方法，其特征在于，包括以下步驟：
步驟1：將多個待處理鋼瓶(2)頂部的閥門出口通過鋼瓶接頭連接到主管路(9)上；
步驟2：將裝有砷烷的源氣鋼瓶(1)和冷阱收集鋼瓶(5)的閥門出口通過鋼瓶接頭連接到主管路(9)上；
步驟3：使用高純氦氣(A)對主管路(9)進行置換，確保管路不受污染，然后使用真空泵(4)對主管路(9)進行抽真空；
步驟4：在保持真空泵(4)運行的情況下，對待處理鋼瓶(2)在60～100℃進行真空烘烤4～8小時，而后向待處理鋼瓶(2)充入氦氣至主管路(9)內壓力為1～1.5bar，然后再通過真空泵(4)將氦氣抽出，至主管路(9)內真空度為0；
步驟5：打開源氣鋼瓶(1)的鋼瓶閥，源氣鋼瓶(1)出口端的砷烷氣體的壓力控制為1～3bar，向待處理鋼瓶(2)內充入砷烷氣體的壓力控制為0.1-0.5bar，使待處理鋼瓶(2)進行砷烷鈍化烘烤12-24小時；
步驟6：打開冷阱收集鋼瓶(5)的鋼瓶閥，將待處理鋼瓶(2)內烘烤后的砷烷氣體收集到冷阱收集鋼瓶(5)內，以便重復利用；
步驟7：向待處理鋼瓶(2)充入氦氣，氦氣壓力控制為1-1.5bar，然后再通過真空泵(4)將氦氣抽出，至主管路(9)的真空度為0；
步驟8：關閉待處理鋼瓶(2)的鋼瓶閥，至此待處理鋼瓶(2)處理完畢。
2.如權利要求1所述的處理高純砷烷鋼瓶的方法，其特征在于，所述冷阱收集鋼瓶(5)始終浸泡在生冷液體內。
3.如權利要求2所述的處理高純砷烷鋼瓶的方法，其特征在于，所述生冷液體為液氮。
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