[發明專利]一種基于納米共軸腔結構和表面等離激元效應的相對濕度傳感器件及其制作方法在審
| 申請號： | 201610328896.5 | 申請日： | 2016-05-18 |
| 公開（公告）號： | CN106053393A | 公開（公告）日： | 2016-10-26 |
| 發明（設計）人： | 倪海彬;劉清惓;常建華;王婷婷;倪波 | 申請（專利權）人： | 南京信息工程大學 |
| 主分類號： | G01N21/47 | 分類號： | G01N21/47;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 南京鐘山專利代理有限公司 32252 | 代理人： | 戴朝榮 |
| 地址： | 210019 江*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 基于 納米 共軸腔 結構 表面 離激元 效應 相對濕度 傳感 器件 及其 制作方法 | ||
【說明書】：
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