[發(fā)明專利]一種三氯氫硅合成尾氣的處理裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201610327122.0 | 申請日： | 2016-05-17 |
| 公開（公告）號： | CN105797543B | 公開（公告）日： | 2019-03-29 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 鮑明銳;劉毅;蔡俊雄;管彥波 | 申請（專利權(quán)）人： | 山東瑞川硅業(yè)有限公司 |
| 主分類號： | B01D53/18 | 分類號： | B01D53/18;B01D46/24;B01D46/10;B01D46/42 |
| 代理公司： | 常州佰業(yè)騰飛專利代理事務(wù)所(普通合伙) 32231 | 代理人： | 常瑩瑩 |
| 地址： | 256600 山東省濱*** | 國省代碼： | 山東;37 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 三氯氫硅 合成 尾氣 處理 裝置 | ||
【說明書】：
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